
Lorsque l’on travaille dans une salle propre de classe 100, le concept de « presque propre » ne suffit pas. Un seul petit fragment provenant d’un élément chauffant – quelque chose que l’on ne peut même pas voir – peut faire en sorte que toute la quantité de wafer produite devienne inutilisable. C’est un véritable cauchemar.
C’est pourquoi nous avons cessé d’utiliser du verre standard pour nos lampes à infrarouges. Le verre standard contient des impuretés qui ne peuvent pas résister à la chaleur ; elles se détériorent et causent des problèmes. Nous avons donc opté pour du quartz synthétique de haute pureté. Ce matériau reste stable et propre.
Plus de gaz indésirables La plupart des lampes à infrarouges utilisent des agents liants ou des revêtements qui commencent à libérer des gaz dès qu’elles se réchauffent. Nous avons éliminé tous ces éléments indésirables.
Comme nous utilisons du quartz de haute pureté, sa surface reste inerte. Il n’y a pas de risque que des produits chimiques se retrouvent sur les wafer. De plus, nous sommes très stricts concernant le processus d’étanchéité. Nous évitons que les filaments en tungstène soient en contact avec le moindre trace d’oxygène, afin que les tubes ne s’obscurcissent pas. Si les tubes restent clairs, l’efficacité des lampes à infrarouges reste élevée. C’est aussi simple que cela.
Diriger la chaleur là où elle doit aller Ces lampes atteignent rapidement leur température maximale. Vraiment rapidement.
Nous avons choisi une émission à ondes courtes car cela permet à la chaleur de pénétrer véritablement dans le substrat des wafer, plutôt que simplement de réchauffer l’air autour d’eux. Cela permet un contrôle précis de la température.
Un conseil : cette intensité de chaleur est importante. Vérifiez bien les supports de fixation des lampes. Si votre châssis n’est pas conçu pour supporter l’expansion du quartz lorsqu’il se réchauffe, vous risquez de mettre trop de pression sur les extrémités des lampes.
Installation facile Ces lampes sont conçues pour être remplacées sans difficulté. Leur taille est adaptée, ce qui empêche la poussière de s’y accumuler.
Et comme leur qualité de fabrication est excellente, on voit beaucoup moins souvent ce phénomène de brunissement du quartz. C’est l’avantage principal : il n’est pas nécessaire de remplacer les lampes aussi souvent, ce qui signifie que l’étanchéité de la salle propre n’est pas perturbée toutes les semaines.
Un dernier conseil : veillez bien à ce que l’alimentation électrique soit stable. Quelques pics de tension peuvent endommager les filaments bien plus rapidement que le quartz ne s’use avec le temps.