MEMS传感器晶圆干燥加热器

在干燥过程中保持MEMS晶圆的无尘状态 如果你身处100级洁净室中，那么你一定知道，由于气体释放或杂质污染而导致的麻烦有多糟糕。这种情况通常发生在干燥阶段。大多数普通加热器根本无法满足这一需求——因为一旦开始加热，它们就会释放出微小的颗粒物，或是挥发性的有机化合物。 因此，我们选择使用高纯度的合成...