반도체 가열 과정에서의 탄소 배출 감소
솔직히 말해서, 반도체 제조는 엄청난 에너지를 소비하는 과정입니다. 기존의 가열 방식들은 대부분 낭비적입니다. 웨이퍼의 온도를 맞추기 위해 공기나 방 전체, 벽까지 모두 가열해야 하죠. 이런 방식은 비효율적일 뿐만 아니라 비용도 많이 듭니다. 탄소 중립 목표를 달성하려는 사람들에게는 정말 골칫거리입니다.
비결은 하우징에 있습니다
대부분의 사람들은 하우징을 그저 금속으로 된 구조물로 생각합니다. 하지만 저는 그것을 ‘거울’로 봅니다.
우리는 고품질의 스테인리스 스틸로 이러한 하우징을 만듭니다. 왜냐하면 웨이퍼 처리 시 엄청난 열이 발생하기 때문에, 금속이 산화되거나 부서지지 않도록 해야 하기 때문입니다. 하지만 진정한 비결은 바로 표면 처리에 있습니다. 우리는 내부 표면을 거울처럼 매끄럽게 다듬어서 적외선이 정확히 목표물에 도달하도록 합니다.
그래서 열이 클린룸 밖으로 새어 나가는 것을 막고, 필요한 곳에만 열이 전달됩니다. 웨이퍼는 필요한 열을 얻게 되고, HVAC 시스템도 방의 온도를 낮추기 위해 무리하게 작동할 필요가 없습니다.
왜 스테인리스 스틸인가?
왜 알루미늄을 사용하지 않는지 궁금할 수 있습니다. 알루미늄은 더 가볍긴 하지만, 극심한 열에 노출되면 변형됩니다. 하우징이 변형되면 적외선 램프의 초점도 흐트러집니다. 그러면 더 이상 목표물을 정확히 조준할 수 없습니다.
반면 스테인리스 스틸은 변형되지 않습니다. 물론 무게는 더 나가지만, 그런 대가는 충분히 가치가 있습니다. 열을 낭비하지 않음으로써 얻는 에너지 절약 효과는 몇 파운드의 금속 무게보다 훨씬 큽니다.
“친환경 공장”을 실제로 구현하는 방법
가장 큰 장점은, 방 전체가 아닌 특정 부분만 가열한다는 점입니다. 이 덕분에 공장의 탄소 발자국이 크게 줄어듭니다.
또한, 이 기계들을 운영하는 사람들을 위해서도 고려했습니다. 램프가 고장 나서 수시간 동안 재조정해야 하는 상황보다 더 나쁜 것은 없습니다. 우리는 램프를 빠르게 교체할 수 있도록 하우징을 설계했습니다. 램프가 고장나면 그냥 빼내고 새 램프를 연결하기만 하면 됩니다. 그러면 몇 분 안에 다시 작동할 수 있습니다.
이렇게 하면 기계가 계속 작동할 수 있으며, 오랜 시간 동안 기계가 멈춰 있는 동안 에너지를 낭비하는 일도 없습니다. 정말 현명한 방법입니다.