دیگر اجازه ندهید گرمای تولید شده در فرآیند خشککردن ویفرها هدر برود!
باید صادقانه بگوییم که اکثر مراحل خشککردن در کارخانههای تولید ویفر، در واقع نوعی دستگاه گرمایشی پرهزینه هستند. شما مقادیر زیادی انرژی را وارد سیستم میکنید، اما بخش عمدهای از این گرما به دیوارهها منتقل میشود یا از سیستم خارج میگردد. این کار، هدررفت انرژی است و باعث ناراحتی میشود.
ما راه بهتری پیدا کردیم؛ به جای اینکه اجازه دهیم این انرژی به هدر برود، از بازتابندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم تا انرژی را دقیقاً در جایی که لازم است، یعنی مستقیماً روی ویفر، هدایت کنیم.
راز، در طلاست.
لامپهای معمولی IR، گرما را در تمام جهات پخش میکنند؛ اما طلا در بازتاب نورهای موج بلند و متوسط IR بسیار مؤثر است. با پوشاندن بازتابندهها با طلا، میتوانیم از هدررفت انرژی جلوگیری کنیم. در نتیجه، میتوانیم از توان لامپ کاسته و باز هم دمای سطح ویفر را به حد مورد نظر برسانیم.
مهمترین نکته، هندسه است.
ما فقط طلا را روی یک قطعه فلزی قرار نمیدهیم؛ بلکه نقطه کانونی پارابولا را دقیقاً با سطح ویفر هماهنگ میکنیم. این کار باعث ایجاد یک «منطقه گرم» متمرکز میشود. از آنجایی که گرما بسیار متمرکز است، میتوانیم توان لامپ را کاهش دهیم و باز هم دمای سطح ویفر را به حد مورد نظر برسانیم.
البته یک نکته مهم وجود دارد: باید مراقب سیستمهای خنککننده باشید. وقتی انرژی زیادی در یک نقطه متمرکز میشود، بدنه لامپ نیز تحت تأثیر قرار میگیرد. اگر جریان هوا مناسب نباشد، ممکن است لامپ آسیب ببیند. این یک تغییر کوچک است، اما بر عمر تجهیزات شما تأثیر زیادی دارد.
این روش، چه تأثیری بر کارخانه دارد؟
گزارشهای مربوط به مصرف انرژی شما بهتر خواهد شد. این روش، راه سادهای برای کاهش هزینههای تولید هر ویفر است.
و بهترین بخش این موضوع این است که این بازتابندهها قابل جایگزینی هستند؛ لازم نیست سیستمهای برقی را تخریب کنید یا وقت زیادی را صرف تعمیر سیستم کنید. فقط کافی است بازتابندهها را عوض کنید و شروع به صرفهجویی کنید.