نگه داشتن اتاقهای تمیز در حالت تمیز: واقعیت مربوط به سیستمهای گرمایشی
در صنعت نیمههادیها و لنزهای نوری، حتی یک ذره کوچک گرد و غبار نیز میتواند مشکلات بزرگی ایجاد کند؛ چرا که میتواند کل یک ویفر را از بین ببرد.
مشکل اینجاست که اکثر دستگاههای گرمایشی مادون قرمز، پر از ذرات میکروسکوپی هستند. وقتی این دستگاهها گرم میشوند، این ذرات از خودشان خارج میشوند. برای جلوگیری از این مشکل، از سپرهای شیشهای با خلوص بالا برای محافظت از دستگاهها استفاده میکنیم. میتوان آنها را مانند یک محافظ فناورانه برای قطعات مورد استفاده در تولید در نظر گرفت.
چرا جنس ماده مهم است؟
ما از هر نوع شیشهای استفاده نمیکنیم؛ بلکه از سیلیکا مصنوعی استفاده میکنیم. شیشههای عادی حاوی فلزات قلیایی هستند؛ وقتی این فلزات گرم میشوند، باعث ایجاد آلایندههایی در سطح قطعات میشوند. این موضوع خوب نیست.
سپرهای کوارتزی ما، نقش دیواری فیزیکی بین عناصر گرمایشی و قطعات مورد استفاده را ایفا میکنند؛ آنها اجازه میدهند تا تشعشعات مادون قرمز از میان آنها عبور کنند، اما ذرات زائد را در خود نگه میدارند.
مدیریت گرما
مدیریت چگالی گرما کار دشواری است. وقتی این دستگاهها با توان بالا کار میکنند، تفاوت دمایی بین فیلامنتهای داخلی و سپرهای خارجی بسیار زیاد است. ما زمان زیادی را صرف تعیین ضخامت مناسب سپرهای کوارتزی میکنیم. اگر ضخامت آنها بیش از حد باشد، کارایی دستگاه کاهش مییابد؛ اما اگر خیلی نازک باشند، در همان لحظه گرم شدن دستگاه، ترک خواهند خورد. این کار واقعاً پرخطر است.
نکته مهم: حتماً سیستم خلأ را بررسی کنید؛ حتی کوارتز با خلوص بالا نیز نمیتواند از شما محافظت کند، اگر رد انگشت یا ذرات گرد و غباری در سطح شیشه باقی بماند. این ذرات باعث ایجاد نقاط گرم شده و در نهایت باعث خرابی دستگاه میشوند.
نصب سپرها
این سپرها طوری طراحی شدهاند که بتوان آنها را به راحتی جایگزین کرد. ما بر روی انطباق دقیق این سپرها تأکید زیادی داریم، تا هیچ شکافی برای ورود آلایندهها وجود نداشته باشد.
فقط به یاد داشته باشید که اگرچه این مواد از نظر شیمیایی مقاوم هستند، اما در نهایت همچنان شیشه هستند؛ یعنی شکنندهاند. لطفاً از تکنسینهای خود بخواهید که مراقب باشند؛ از پدهای بدون الیاف و مواد مناسب برای نگهداری از تمیزی سطوح استفاده کنند. اگر حتی خراش کوچکی روی سطح شیشه دیدید، آن را تعویض کنید؛ چون ریسک آن ارزشش را ندارد.