Trên sàn sản xuất, quy trình nung photoresist không phải là tùy chọn mà là ngân sách nhiệt của bạn, rõ ràng và đơn giản. Chênh lệch 1°C có thể làm thay đổi kích thước quan trọng, và chỉ một hạt bụi từ vùng nhiệt cao cũng có thể làm hỏng nhiều die đạt chuẩn. Đó là lý do chúng tôi chế tạo đèn hồng ngoại kèm theo bộ phun khí để xử lý những thực tế này như một tiêu chuẩn, không phải trường hợp ngoại lệ.
Những yếu tố quan trọng bên trong thiết bị
Chúng tôi kết hợp bộ phát bức xạ hồng ngoại sóng ngắn với bộ phun khí có vận tốc cao. Bộ phát phản hồi trong mili giây, giúp kiểm soát vòng lặp kín chặt chẽ và đảm bảo độ đồng đều ±0,1°C ở cấp wafer trên bề mặt nung. Bộ phun khí thổi mạnh qua lớp ranh giới và loại bỏ các chất gây ô nhiễm vi mô, trong khi đường hút khí được cách ly để duy trì số lượng hạt bụi ổn định trong môi trường Class 1–100. Mật độ công suất có thể điều chỉnh phù hợp với wafer từ 150 mm đến 300 mm, và nhiệt độ đạt được lặp lại chính xác qua từng lô. Công suất đầu ra duy trì trong phạm vi 2% sau hơn 5.000 giờ hoạt động, đồng thời thiết bị được thiết kế để vừa vặn với giao diện và kích thước của các thiết bị bán dẫn phổ biến.
Lý do thiết bị ổn định trong quá trình khắc quang
Trong khắc quang, soft bake nhằm mục đích loại bỏ dung môi và thiết lập ứng suất màng; hard bake là bước cố định sự bám dính trước xử lý khắc hoặc mạ. Thiết bị này ổn định cả hai bước, giúp giảm công việc làm lại và cải thiện tỷ lệ đậu dòng. Tốc độ tăng nhiệt nhanh giúp giảm thời gian chu trình, và kiểm soát thời gian giữ chính xác giữ ngân sách nhiệt trong giới hạn kỹ thuật mà không bị vượt quá. Sử dụng năng lượng giảm do bộ phát chỉ làm nóng mục tiêu, không làm nóng khung xung quanh, và bộ phun khí giữ cho hệ quang học và buồng hoạt động mát hơn. Kết quả là kiểm soát kích thước quan trọng có thể dự đoán được, giảm phế phẩm, và giảm dừng máy ngoài kế hoạch trên dây chuyền.
Những điểm cần lưu ý khi lắp đặt
Bộ phun khí tăng vận tốc khí tại vùng cục bộ, vì vậy cần điều chỉnh kích thước đường hút khí để duy trì áp suất âm tại cửa sổ quá trình—nếu không, hiện tượng nhiễu loạn có thể làm tăng số lượng hạt bụi. Việc lắp đặt khá đơn giản trên các nền tảng công cụ tiêu chuẩn, tuy nhiên hệ thống ống dẫn và chiến lược lọc phải phù hợp với hình dạng buồng và cấp sạch phòng sạch. Chúng tôi cung cấp bản vẽ giao diện và quy trình xác nhận, nhưng bạn cần phối hợp chặt chẽ với nhóm tích hợp công cụ để đánh giá thiết bị và khóa cấu hình nhiệt.