Trên sàn lithography, việc nướng photoresist không phải là tùy chọn—đó là ranh giới giữa việc tạo ra sản lượng và việc chứng kiến phế liệu chất đống. Một sự trôi lệch 2°C trong quá trình nướng mềm là đủ để làm lan rộng biến thiên CD trên toàn bộ wafer. Và nếu quá trình nướng cứng không nhất quán, bạn sẽ phải đối mặt với cặn bẩn, độ bám dính yếu và lớp màng còn sót lại mà không thể bị loại bỏ. Bộ gia nhiệt IR của máy phun/phát triển phải cung cấp hành vi nhiệt lặp lại, chu kỳ sau chu kỳ, mà không làm rơi các hạt vào dòng khí hoặc thu hẹp cửa sổ quy trình.
Những gì thực sự quan trọng bên trong Chúng tôi đã xây dựng bộ gia nhiệt IR của máy phun/phát triển dựa trên các bộ phát hồng ngoại sóng ngắn (NIR)—nhiệt trực tiếp với điều khiển vòng kín. Lợi ích là tính đồng nhất ở mức wafer trong khoảng ±0.1°C trên toàn bộ bề mặt nướng, vì vậy photoresist nhận được cùng một ngân sách nhiệt từ mép này sang mép kia. Thời gian phản ứng dưới một giây, cho phép bạn giữ chặt tỷ lệ tăng nhiệt và thời gian ngâm. Nó tương thích với phòng sạch Class 1–100, nhờ vào một cấu trúc lắp ráp ít khí thải và kiến trúc không có hạt giữ cho số lượng hạt không thay đổi, ngay cả trong các chu trình sản xuất dài. Bộ gia nhiệt có thể lắp vào các nền tảng máy phun/phát triển tiêu chuẩn và được thiết kế cho hoạt động 24/7, với sản lượng ổn định qua hàng ngàn chu kỳ nướng. Tại sao điều này quan trọng trong công cụ máy phun/phát triển Tính lặp lại nhiệt là đòn bẩy giúp căn chỉnh một loạt tham số cùng một lúc. Kiểm soát nhiệt độ chặt chẽ cải thiện dòng chảy của photoresist và loại bỏ dung môi trong quá trình nướng mềm, đồng thời thiết lập trạng thái liên kết ổn định trong quá trình nướng cứng. Điều này thể hiện qua việc kiểm soát CD chặt chẽ hơn, ít lô phải làm lại hơn, và ít phế liệu hơn. Bạn cũng tiết kiệm năng lượng vì bộ gia nhiệt đạt điểm đặt nhanh và giữ ổn định mà không bị vượt quá. Độ tin cậy thể hiện qua thời gian hoạt động—ít dừng không theo kế hoạch hơn, ít cuộc gọi bảo trì liên quan đến trôi lệch bề mặt nướng, và khoảng thời gian dài hơn giữa các lần thay thế vật tư tiêu hao. Những gì bạn cần làm đúng từ đầu Việc lắp đặt phụ thuộc vào việc khớp với kích thước cơ khí của công cụ và giao diện điều khiển—kiểm tra lại loại kết nối, độ chính xác lắp đặt và nguồn điện có sẵn. Các hệ thống NIR nhanh và đồng nhất, nhưng hãy giữ cho cửa sổ phát sạch; bất kỳ sự tích tụ màng nào sẽ làm thay đổi điểm đặt và ảnh hưởng đến tính đồng nhất. Xây dựng quy trình kiểm tra định kỳ và làm sạch có kiểm soát theo quy trình phòng sạch. Khớp bộ gia nhiệt với đúng hồ sơ nướng và loại chất chống dính—mật độ công suất tối đa không phải là sự lựa chọn đúng cho mọi hồ sơ. Khi việc tích hợp được thực hiện đúng, bạn sẽ có được một cửa sổ quy trình rộng hơn mà không làm tăng độ phức tạp.