ویفر فیکٹریوں میں آئی آر حرارتی نظاموں کا صحیح استعمال
فی الوقت، سیمی کنڈکٹر تیار کرنے والے آلات کو زیادہ “کاربن-نیوٹرل” بنانے کی کوششیں جاری ہیں۔ اس کے لیے، ہم پرانے رزسٹیو حرارتی نظاموں کو ترک کرکے شارٹ-ویو آئی آر حرارتی نظاموں کا استعمال کر رہے ہیں۔
اس طریقے کا بڑا فائدہ یہ ہے کہ ویفر کی سطح کو براہِ راست گرم کیا جاتا ہے؛ اب پورے چیمبر کو گرم کرنے کی ضرورت نہیں رہتی۔ اس سے بہت زیادہ حرارتی ضیاع کم ہو جاتا ہے، اور بجلی کی کھپت بھی کم ہو جاتی ہے۔
حرارت کا درست استعمال
ویفر فیکٹریوں میں، حرارت کی کثافت بہت اہم ہے۔ ہم ہیلوجن-بیسڈ آئی آر لیمپوں کا استعمال کرتے ہیں، کیوں کہ یہ بہت تیزی سے درجہ حرارت بڑھاتے ہیں۔
لیکن رفتار بھی خطرناک ہو سکتی ہے؛ اگر ان لیمپوں کے ساتھ درست سینسر نہ استعمال کیے جائیں، تو درجہ حرارت مناسب سطح سے زیادہ ہو جاتا ہے۔ اور اس صنعت میں، زیادہ حرارت صرف بجلی کا ضیاع ہی نہیں، بلکہ مہنگے ویفروں کو تباہ کرنے کا سبب بھی بن سکتی ہے۔
سینسروں کی اہمیت
خلا میں کام کرتے وقت، صرف فضا کے درجہ حرارت پر انحصار نہیں کیا جاسکتا۔ اس کے بجائے، ہم نان-کانٹیکٹ پائرومیٹرز کا استعمال کرتے ہیں، تاکہ ویفر کی حرارتی خصوصیات کو مانیٹر کیا جاسکے۔ یہ سینسر پاور سپلائی سے جڑا ہوتا ہے، جو براہِ راست لیمپ کی روشنی کو کنٹرول کرتا ہے۔
اگر سینسر درست طریقے سے کام نہ کرے، تو ویفر کے کچھ حصے دوسرے حصوں کے مقابلے میں زیادہ گرم ہو جاتے ہیں، جس سے ناہموار ایچنگ یا ڈپوزیشن ہوتی ہے۔ یہ مناسب نہیں ہے۔
توازن قائم کرنا ضروری ہے
آئی آر حرارتی نظاموں کا استعمال “گرین فیکٹری” کے اہداف کو حاصل کرنے کا بہترین طریقہ ہے۔ اس سے ویفر کو گرم ہونے میں لگنے والا وقت کم ہو جاتا ہے، اور استعمال کی جانے والی بجلی کا بہتر استعمال ہوتا ہے۔
لیکن یہ بغیر کسی قیمت کے ممکن نہیں ہے۔ اعلی شدت والے آئی آر لیمپ بہت زیادہ حرارت پیدا کرتے ہیں۔ لہذا، کولنگ سسٹم کو بہتر طریقے سے استعمال کرنا ضروری ہے۔
اگر کولنگ سسٹم درست طریقے سے کام نہ کرے، تو لیمپ کا ڈھانچہ خراب ہو جاتا ہے، اور کوارٹز کی ساخت بھی جلد ہی خراب ہو جاتی ہے۔ آخر میں، زیادہ بجلی کے استعمال کو روکنے کا واحد طریقہ یہ ہے کہ سینسروں کو درست طریقے سے کیلیبریٹ کیا جائے۔