لائن پر، وہ SiC ویفر بس وہیں پڑا رہتا ہے، اور فوٹوریزسٹ کو خشک کرنے کا انتظار کرتا ہے تاکہ نمونہ محفوظ رہ سکے۔ درجہ حرارت میں چند ڈگریوں کی بھی تبدیلی سے، کریٹیکل ڈائمینشن کنٹرول خراب ہو جاتا ہے؛ ایٹچر کو اس کا احساس ہونے سے پہلے ہی پیداوار میں کمی شروع ہو جاتی ہے۔
واقعی کیا اہم ہے؟
ہم کوارٹز کے خول کے اندر شارٹ-ویو NIR ہیلوجن ہیٹر لیمپ استعمال کرتے ہیں؛ یہ لیمپ تیز حرارتی ردِعمل اور ویفر کی سطح پر یکسانیت کے لئے بہترین ہے۔ بیکنگ کے دوران، ہم ±0.1°C کی درستگی برقرار رکھتے ہیں، تاکہ “سافٹ بیک” اور “ہارڈ بیک” عمل میں استحکام برقرار رہے۔
یہ آلہ کلاس 1–100 کے کلین روم کے معیارات کے مطابق ہے؛ اس میں کم گیس خارج ہونے والے مواد استعمال کئے گئے ہیں، تاکہ ویفر پر کوئی آلودگی نہ پڑے۔ پاور سپلائی مستقل رہتی ہے، اور لیمپ طویل عرصے تک اپنی کارکردگی برقرار رکھتا ہے؛ ہمارے پاس ایسے آلات بھی ہیں جو 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کام کر چکے ہیں، اور ان کی کارکردگی میں 5% سے بھی کم کمی واقع ہوئی ہے۔
SiC کے لئے یہ کیوں اہم ہے؟
SiC ویفر کی پروسیسنگ میں حرارتی کنٹرول بہت اہم ہے۔ یہ لیمپ بیکنگ کے عمل کو کنٹرول میں رکھتا ہے؛ فوٹوریزسٹ کی حرکت، چپکنے کی صلاحیت، اور کراسلنکنگ کا عمل بالکل درست طریقے سے ہوتا ہے۔ اس طرح لائن کی چوڑائی میں تغیرات اور دوبارہ پروسیسنگ کی ضرورت ختم ہو جاتی ہے۔
یہ عمل تیز ہے، لیکن اس سے عمل خطرناک نہیں ہوتا؛ صاف ستھرا عمل سے آلودگی کی وجہ سے پیدا ہونے والا فضول مال بھی کم ہو جاتا ہے۔ اس طرح پروسیس میں پیشن گوئی کرنا آسان ہو جاتا ہے، تغیرات کم ہو جاتے ہیں، اور ہر ویفر کی کارکردگی یکساں رہتی ہے… یہی تو لیتھوگرافی کے لئے ضروری ہے۔
جن چیزوں سے آپ کو پریشانی ہو سکتی ہے…
انسٹالیشن کے دوران، لیمپ کے سائز اور کنیکٹر کو OEM ٹول کے انٹرفیس سے مطابقت دینا ضروری ہے۔ الائنمنٹ بھی اہم ہے؛ اگر یہ درست نہ ہو، تو یکسانیت ختم ہو جاتی ہے۔
آؤٹ پٹ پاور ڈینسٹی بہت زیادہ ہے، لہذا حرارتی انتظام اور شیلڈنگ کے اصولوں پر عمل کرنا ضروری ہے۔ اگر ایسا نہ کیا جائے، تو مقامی حدود میں گرمی پیدا ہو جاتی ہے۔ کیلیبریشن کو بھی مقررہ وقفوں پر کرنا ضروری ہے، تاکہ درجہ حرارت کنٹرول میں رہے اور پروسیس بھی درست رہے۔