İşlem hatlarında, o SiC yongaları orada duruyor ve desenin sabitlenmesi için fotoresistanın pişirilmesini bekliyor. Sıcaklıkta meydana gelen en küçük...

Fabrika katında, fotoresist işlemi termal sapmalara tolerans göstermez. Soft bake veya hard bake sırasında wafer üzerinde 0,5°C sıcak/soğuk dağılımı,...