На этапе литографии возникновение точек с высокой температурой в 2°C на поверхности пластины во время процедуры мягкой обработки приводит к изменению критических размеров элементов пластины, а также к увеличению времени экспозиции. Невозможно постоянно корректировать параметры из-за тепловых факторов после каждой партии изделий. Инфракрасный нагреватель для дегазации пластины поддерживает стабильную температуру — она остается на нужном уровне, не завися от изменений в процессе производства.
Что действительно важно с технической точки зрения
Мы используем инфракрасное излучение с высокой скоростью передачи тепла; это позволяет достичь стабильной температуры на всей поверхности пластины в пределах ±0,1°C в течение всего процесса производства. Также обеспечивается повторяемость температуры на всех этапах производства. Устройство работает в чистых помещениях класса 1–100, не создает частиц и имеет герметичную конструкцию с минимальными выбросами газов. Это обеспечивает стабильную работу устройства 24/7 без неожиданных перебоев, а также позволяет планировать время технического обслуживания.
Почему это эффективно на практике
В процедурах сушки пластины, дегазации, мягкой и жесткой обработки фотополимера инфракрасное излучение сокращает время нагрева и сохраняет стабильную температуру. Это позволяет повысить производительность без снижения качества продукции. Когда процедура обработки юнитарна, химические свойства фотополимера остаются предсказуемыми: меньше остатков материала, меньше дефектов, более точный контроль размеров элементов пластины. Одна и та же система нагрева используется для всех этапов производства, что позволяет снизить общее потребление энергии при сохранении необходимого уровня качества продукции.
Что необходимо сделать правильно
Важно соответствовать спектру инфракрасного излучения и плотности мощности требованиям конкретной пластины. Нагреватель должен быть правильно расположен, а интерфейс устройства и система охлаждения должны соответствовать параметрам чистой комнаты и системы вентиляции. Необходимо учитывать тепловую массу и защитные элементы, чтобы не повредить соседние оптические элементы и датчики. При правильной настройке устройства можно добиться стабильности процесса на всех этапах производства.