Quando se trabalha em uma sala limpa de classe 100, “quase limpo” não é suficiente. Um simples grão de poeira vindo de um elemento de aquecimento – algo que nem dá para ver – pode estragar todo o lote de wafers. É um verdadeiro pesadelo.
Por isso, paramos de usar vidro comum nas nossas lâmpadas infravermelhas. O vidro comum possui impurezas que não conseguem suportar o calor; elas se degradam e causam problemas. Passamos a usar quartzo sintético de alta pureza. Ele permanece estável e limpo.
Sem mais gases indesejados
A maioria das lâmpadas infravermelhas utiliza aditivos ou revestimentos que começam a liberar gases assim que esquentam. Nós eliminamos todos esses aditivos.
Como usamos quartzo de alta pureza, sua superfície permanece inerte. Não há risco de produtos químicos caírem sobre os wafers. Além disso, somos muito rigorosos no processo de vedação. Mantemos os filamentos de tungstênio longe de qualquer traço de oxigênio, para que os tubos não fiquem turvos. Se o tubo permanecer claro, a eficiência dos raios infravermelhos continua alta. Tão simples quanto isso.
Direcionando o calor para onde é necessário
Essas lâmpadas aquecem rapidamente. Muito rapidamente.
Nosso foco foi na emissão de radiação infravermelha de onda curta, pois queremos que o calor penetre realmente no substrato do wafer, e não apenas aqueça o ar ao seu redor. Isso permite um controle preciso da temperatura.
Atenção: essa densidade de calor é intensa. Verifique os suportes de fixação das lâmpadas. Se o chassi não for capaz de suportar a expansão do quartzo quando ele esquenta, você pode causar danos aos extremos das lâmpadas.
Instalação fácil
Projetamos essas lâmpadas para serem substituídas facilmente. Sem complicações. O tamanho delas é adequado, então a poeira não tem onde se esconder.
E, como a qualidade de fabricação é excelente, você raramente verá aquele escurecimento no quartzo. Essa é a melhor parte: você não precisa trocar as lâmpadas com tanta frequência, o que significa que não há risco de quebrar a integridade da sala limpa a cada duas semanas.
Por fim: preste atenção à fonte de alimentação. Certifique-se de que ela seja estável. Algumas flutuações de tensão podem danificar os filamentos muito mais rápido do que o próprio quartzo se desgastar.