Mantendo suas wafers limpas e imaculadas: A verdade sobre o aquecimento
Se você opera em uma sala limpa de classe 100, já sabe que os filtros de ar são apenas metade da solução. O verdadeiro problema são as substâncias que não podemos ver. A emissão de gases e as partículas minúsculas provenientes dos elementos de aquecimento podem destruir um lote inteiro antes mesmo que você perceba que há algum problema.
É por isso que utilizamos quartzo sintético de alta pureza em nossos aquecedores de wafers a IR. Isso evita a contaminação desde o início.
Por que o material é tão importante?
O problema é que o vidro comum ou o quartzo barato tendem a apresentar problemas quando expostos ao calor. Eles podem liberar íons ou partículas microscópicas na superfície das wafers.
Utilizamos quartzo de alta pureza porque ele permanece estável. É quimicamente inerte, então não há risco de impurezas metálicas afetarem a superfície das wafers. Além disso, permite que a radiação infravermelha de onda curta passe através dele sem ser absorvida. Isso é ótimo, pois o tubo permanece relativamente frio, enquanto a wafer recebe todo o calor necessário.
Projetando para o mundo real
Já vimos onde os aquecedores industriais costumam falhar. Por isso, projetamos os nossos para evitar esses problemas.
Por exemplo, unimos as peças sem usar cola ou adesivos. Assim, não há nada que possa liberar gases e poluir o ambiente. Também utilizamos conectores especializados para garantir uma conexão firme. Sem arcos elétricos, sem degradação ao longo do tempo – apenas uma conexão sólida.
Uma dica: se você estiver utilizando sistemas de alta potência para processos térmicos rápidos, tenha cuidado. A densidade de calor é intensa. Certifique-se de que seus sistemas de resfriamento estejam preparados para lidar com isso, caso contrário, sua câmara de processamento pode ser danificada.
Os custos-benefícios
O quartzo é resistente, mas também frágil. Ele consegue suportar melhor os choques térmicos do que a maioria dos materiais, mas não é invencível. Um simples impacto mecânico ou um jato de água fria pode causar rachaduras no tubo. É um som assustador.
Para evitar isso, sugerimos o uso de suportes que reduzem as vibrações. Isso mantém tudo estável durante o funcionamento da máquina e evita rachaduras.
No final das contas, simplesmente eliminamos os ligantes orgânicos e optamos pelo uso de sílica de alta pureza. É uma solução simples: use materiais que não reajam, e você terá wafers limpas. Tão simples quanto isso.