Het verminderen van de kooldioxide-uitstoot in schone ruimtes met infraroodtechnologie
Als je ooit in een halfgeleiderfabriek bent geweest, weet je vast hoe het is met traditionele convectie-ovens. Ze verbruiken enorm veel energie. Waarom? Omdat ze veel energie nodig hebben om de lucht in de kamer op te warmen, voordat de chip zelfs maar iets voelt. Dat is zonde.
Wij hebben een betere manier gevonden. In plaats van de lucht op te warmen, gebruiken we infraroodstraling om rechtstreeks de chip of het substraat op te warmen. Het is een simpele verandering, maar het zorgt ervoor dat er minder energie wordt verbruikt en dat de CO2-uitstoot drastisch wordt verminderd.
Hoe het werkt
Stel je voor dat je op een koude dag in de zon staat. Je hoeft niet te wachten tot de lucht om je heen opwarmt; je voelt de warmte meteen op je huid. Infraroodverwarmers doen hetzelfde met elektromagnetische straling. Er is geen behoefte meer aan een ‘opwarmtijd’. Omdat de energie rechtstreeks naar het doel gaat, wordt er minder energie verbruikt per cyclus. Minder energieverbruik betekent minder uitstoot. Punt.
De realiteit in schone ruimtes
Je kunt natuurlijk geen gewone verlichtingsarmatuur in een schone ruimte gebruiken. Uitstoten van gassen en deeltjes zijn een groot probleem.
Om de zuiverheid te behouden, bedekken we alles met hoogzuiver kwarts. Dit houdt de vervuiling op afstand van het procesgebied. Aangezien deze systemen meestal grote substraten verwerken, worden ze aangestuurd met hoge spanningen, zodat de warmte goed verspreid wordt.
Een tip: je moet de golflengte goed kiezen. Of je nu kiest voor kortegolfgroen, middellange of langegolfgroen infrarood, hangt af van het materiaal. Kortegolfgroen infrarood dringt dieper in het substraat door, waardoor het proces sneller verloopt.
De nadelen (want niets is perfect)
Infrarood is geen magische oplossing. Hoewel je energie bespaart door gebruik te maken van infraroodverwarmers, genereren deze apparaten wel veel warmte op één plek. Als je chassis en koelsystemen niet sterk genoeg zijn, zal je de warmte gaan voelen. Als de koeling te zwak is, gaan de sensoren afwijken, en dan wordt het een probleem.
Het geheim zit in het indelen van de ruimte. We verdelen de oven in aparte infraroodzones. Op deze manier wordt de warmte alleen gebruikt waar het nodig is. Hierdoor wordt de CO2-uitstoot echt verminderd.