웨이퍼 처리 장비용 온도 센서

웨이퍼 제조 공정에서 IR 가열 및 센싱 기술을 올바르게 활용하는 방법 현재는 반도체 제조 장비를 더욱 친환경적으로 만들려는 노력이 활발합니다. 이를 위해 우리는 기존의 저항식 가열 방식을 버리고 단파 적외선(IR)을 활용하고 있습니다. 가장 큰 장점은 웨이퍼 표면을...