MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

건조 과정에서 MEMS 웨이퍼를 항상 깨끗하게 유지하는 방법 만약 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 가스가 발생하거나 원치 않는 불순물들이 생기는 문제를 잘 알고 있을 것입니다. 이러한 문제는 보통 건조 단계에서 발생합니다. 일반적인 히터들은 이러한 상황에...