와이퍼를 깨끗하게 유지하기 위한 비결: 가열에 관한 진실
클래스 100급 청정실을 운영한다면, 공기 필터만으로는 충분하지 않다는 것을 이미 알고 있을 것입니다. 진짜 문제는 보이지 않는 부분에 있습니다. 가열 요소에서 발생하는 가스나 미세 입자들은 문제가 생겼다는 것을 알기도 전에 웨이퍼를 망가뜨릴 수 있습니다.
그래서 저희는 IR 웨이퍼 히터에 고순도 합성 석영을 사용합니다. 이 방법을 통해 오염이 시작되기 전에 미리 막을 수 있습니다.
왜 재료가 중요한가?
일반적인 유리나 저품질의 석영은 열이 가해지면 문제가 생깁니다. 이러한 재료들은 이온이나 미세 입자를 웨이퍼 위로 방출할 수 있습니다. 반면, 고순도 석영은 화학적으로 안정적이어서 금속성 불순물이 웨이퍼 표면으로 옮겨가는 것을 방지합니다. 게다가 단파 IR 복사선도 통과시킬 수 있어서 웨이퍼가 열을 받는 동안 히터 자체는 비교적 차갑게 유지됩니다.
실제 환경에 맞는 설계
산업용 히터들이 어디서 문제가 생기는지 잘 알고 있기 때문에, 저희는 그러한 문제를 피할 수 있는 설계를 채택했습니다. 예를 들어, 저희는 접착제나 글루를 전혀 사용하지 않습니다. 그렇게 하면 가스가 발생하여 환경이 오염되는 것을 막을 수 있습니다. 또한, 전기 연결부도 특수한 부품을 사용하여 단단히 연결됩니다. 그래서 아크 발생이나 시간이 지남에 따른 손상도 없습니다.
한 가지 팁: 고출력의 히터를 사용할 경우 주의해야 합니다. 열 밀도가 매우 높기 때문입니다. 쿨링 시스템이 충분히 강력한지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 챔버가 손상될 수 있습니다.
장단점
석영은 튼튼하지만, 쉽게 깨질 수도 있습니다. 대부분의 재료보다는 열 충격에 더 잘 견디지만, 완전히 안전한 것은 아닙니다. 작은 충격이나 갑작스러운 냉수에 의해 석영관이 즉시 깨질 수 있습니다. 이는 매우 위험한 상황입니다.
이를 방지하기 위해 진동을 줄여주는 부품을 사용하는 것이 좋습니다. 이를 통해 기계가 작동할 때 안정성을 유지할 수 있으며, 스트레스로 인한 균열도 방지할 수 있습니다.
결국, 저희는 유기 결합제를 사용하지 않고 고순도 실리카만을 사용했습니다. 이건 간단한 방법입니다. 반응하지 않는 재료를 사용하면 깨끗한 웨이퍼를 얻을 수 있습니다. 그게 전부입니다.