נורת חימום לעיבוד שבבי SiC

על הקו של ייצור השבבים, שבב ה-SiC פשוט נמצא שם, בהמתנה לתהליך החימום שיאפשר לחומר הפוטורזיסט להיקשר לשבב. שינוי בטמפרטורה, אפילו של חלק קטן ממעלה...