מחמם לעיבוד וופרים אופטי

רצפת המפעל עיבוד פוטורזיסט אינו סובל סטייה תרמית. הפרש של 0.5°C בטמפרטורת חם/קר על פני הוופר במהלך אפייה רכה או קשה מתבטא בשוני ברוחב הקווים, ואירוע...