על הקו של ייצור השבבים, שבב ה-SiC פשוט נמצא שם, בהמתנה לתהליך החימום שיאפשר לחומר הפוטורזיסט להיקשר לשבב. שינוי בטמפרטורה, אפילו של חלק קטן ממעלה...

רצפת המפעל עיבוד פוטורזיסט אינו סובל סטייה תרמית. הפרש של 0.5°C בטמפרטורת חם/קר על פני הוופר במהלך אפייה רכה או קשה מתבטא בשוני ברוחב הקווים, ואירוע...