חיישן טמפרטורה לכלי עבודה עם שבבים
הפעלה נכונה של חימום באמצעות אינפרא-אדום במתקני ייצור שבבים יש כרגע מאמץ רב להפוך את הכלים המשמשים בייצור שבבים לפחות מזהמים מבחינה סביבתית. כדי...
מחמם לייבוש של שבבי חיישני MEMS
שמירה על שטחי ה-MEMS נקיים לחלוטין במהלך תהליך הייבוש
אם אתם עובדים בחדר נקי מסוג Class 100, אתם בוודאי מכירים את הבעיות שנוצרות כתוצאה מהפרשת גזים...
מחמם שבבים חסכוני באנרגיה
שמירה על הוופרים שלכם נקיים לחלוטין: האמת לגבי חימום אם אתם משתמשים בחדר נקי מסוג Class 100, אתם כנראה יודעים שמסנני האוויר הם רק חצי מהפתרון. הבעיה...
מחזיר אור לנורה לייבוש שבבים
כיצד לשלוט בטמפרטורה במפעל שלכם אם אי פעם עבדתם עם תהליכי ייבוש של שבבים, אתם יודעים כמה קשה יכול להיות להתמודד עם בעיות כמו עיוות של השבבים או פיזור...
מרחק הבטיחות לחימום הוופר
כיצד לחמם את שבבי הסיליקון בצורה נכונה כאשר מחממים שבבי סיליקון, כל וואט של אנרגיה חשוב. לא מדובר רק בהגדלת החום – חשוב שהאנרגיה תפגע בשבב עצמו, ולא...
חיישן אינפרא אדום מדויק לשבבים
כאשר מנהלים חדר נקי מסוג Class 100, “כמעט נקי” אינו מספיק. גרגיר זעיר מרכיב החימום – דבר שאי אפשר אפילו לראות – יכול להרוס את כל הוואפרים שלכם. זו...
נורת חימום לעיבוד שבבי SiC
על הקו של ייצור השבבים, שבב ה-SiC פשוט נמצא שם, בהמתנה לתהליך החימום שיאפשר לחומר הפוטורזיסט להיקשר לשבב. שינוי בטמפרטורה, אפילו של חלק קטן ממעלה...
חיממן באינפרא אדום לפירוק גזים מהוופרים
בתהליך הליתוגרפיה, עלייה של 2°C בטמפרטורה על פני הוויפר במהלך החימום עלולה לגרום לשינוי בממדים הקריטיים של הוויפר, וכן להאריך את זמן החשיפה. אי אפשר...