בתהליך הליתוגרפיה, עלייה של 2°C בטמפרטורה על פני הוויפר במהלך החימום עלולה לגרום לשינוי בממדים הקריטיים של הוויפר, וכן להאריך את זמן החשיפה. אי אפשר לעקוב אחר שינויי הטמפרטורה בכל סדרת ייצור. החימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום מאפשר שמירה על הטמפרטורה ברמה הרצויה – על פי פרופיל הוויפר, ולא עקב שינויים בתהליך הייצור.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים בקרינת אינפרא-אדום בגלים קצרים, עם חימום מהיר וישיר, בהתאם לתגובה של הוויפר עצמו. דבר זה מאפשר שוויון טמפרטורי ברמה של ±0.1°C לאורך כל תהליך הייצור, וכן עקביות בטמפרטורה מבחינה תהליכית. המערכת פועלת בחדרים נקיים מסוג Class 1–100, לא יוצרת חלקיקים, ומשתמשת בעיצוב אטום שמפחית את פליטת הגזים. כך ניתן לקבל תוצאות יציבות 24/7 – ללא הפסקות בלתי צפויות, וניתן לתכנן את זמני התחזוקה בצורה יעילה.
למה זה עובד בפועל? בתהליכי ייבוש הוויפר, פינוי הגזים ממנו, וחימום הפוטורזיסט, קרינת האינפרא-אדום מקצרת את זמן החימום ושומרת על הטמפרטורה הרצויה. כך עולה קצב הייצור מבלי לפגוע באיכות המוצר. כאשר החימום עושה עבודה טובה, הכימיה של הפוטורזיסט נשארת יציבה – יש פחות שאריות, פחות פגמים, ושליטה טובה יותר בממדים של הוויפר. אותה מערכת חימום משמשת גם לתהליכי אישור הוויפר, כך שניתן להשתמש בפחות אנרגיה, ועדיין להשיג את התוצאות הרצויות.
מה צריך לעשות כדי שזה יעבוד כראוי? חשוב להתאים את ספקטרום האינפרא-אדום וצפיפות האנרגיה למאפייני הוויפר. החימום צריך להתבצע בצורה יעילה, אך גם הממשק של המערכת ותהליך הקירור צריכים להתאים למגבלות של החדר ושל מערכות הפינוי. יש להתחשב גם במאסת החום ובחומרי המגן, כדי שלא לפגוע במכשירים ובסנסורים הסמוכים. אם כל זה נעשה כראוי, ניתן לקבל תהליך יציב שיעבוד גם במהלך האישורים וגם בייצור היומיומי.