על רצפת הייצור, אפיית photoresist אינה פריבילגיה אלא התקציב התרמי שלך, פשוט ומדויק. סטייה של 1°C יכולה להזיז מידות קריטיות, וחלקיק יחיד מאזור חם יכול להרוס כמות גדולה של דגימות תקינות. לכן בנינו מנורת אינפרא אדום עם יחידת air knife שמתייחסת למציאות הזו כברירת מחדל, לא כחריגה.
מה שחשוב במערכת אנו משלבים מפיצי קרינה אינפרא אדומה בגל קצר עם air knife במהירות גבוהה. המפיצים מגיבים בתוך מילישניות, מה שמאפשר בקרה סגורה קשיחה ומעניק אחידות ברמת וופר של ±0.1°C על פני משטח האפייה. ה-air knife פורץ את שכבת הגבול ומסלק זיהומים מיקרוסקופיים, בעוד שהנתיב לפינוי האוויר מבודד כך שמספר החלקיקים נשאר יציב בסביבת Class 1–100. צפיפות ההספק ניתנת לכוונון בוופרים בגודל 150 מ"מ עד 300 מ"מ, והפרופיל התרמי חוזר על עצמו היטב משלוחה לשלוחה. התפוקה נותרת בתוך סטייה של 2% במשך מעל 5,000 שעות, והיחידה מתוכננת להתאים לממשק ולמימדים של ציוד מוליכים למחצה נפוץ.
מדוע היא יציבה בליתוגרפיה בליתוגרפיה, אפיית soft bake מיועדת להסרת ממס ולכיוון מתח הסרט; אפיית hard bake היא שמייצבת את ההיצמדות לפני חיתוך או ציפוי. יחידה זו מייצבת את שני השלבים, מה שמקטין עבודות תיקון ומשפר את תפוקת הקווים. עליה מהירה בטמפרטורה מקצרת את זמן המחזור, ושליטה מדויקת בזמן ההשהייה מוודאת שהתקציב התרמי נשמר בהתאם למפרט מבלי חריגה. שימוש באנרגיה יורד בגלל שהמקרן מחמם את היעד, לא את המסגרת הסובבת, ו-air knife משמור על קור במערכת האופטית והחדר. התוצאה היא שליטה צפויה במידות הקריטיות, פחות פסולת, ופחות עצירות בלתי מתוכננות בקו הייצור.
מה לשים לב בעת התקנה ה-air knife מעלה את מהירות האוויר המקומית, לכן יש לגודל את מערכת הפינוי כך שתשמור על לחץ שלילי בחלון התהליך – אחרת, טורבלנציה עלולה לגרום לעליה במספר החלקיקים. ההתקנה קלה בפלטפורמות כלים סטנדרטיות, אבל יש להתאים את מערכת התעלות והפילטרים לגיאומטריית החדר ולרמת הניקיון. אנו מספקים שרטוטי ממשק ומתכון אימות, אך יש לתאם באופן הדוק עם צוות האינטגרציה של הכלי לאישור היחידה והסטת הפרופיל התרמי.