על רצפת הייצור, סטייה של חצי מעלת צלזיוס במהלך אפיית הפוטורזיסט מספיקה כדי לזרוק את רוחבי הקווים ולהתחיל דליפת תפוקה. לא ניתן להתייחס לטמפרטורה כמו למשחק ניחושים - יש צורך בשליטה תרמית שמתנהגת כמו פרמטר תהליך אמיתי, ולא כמטרה ניידת.
מה שחשוב, טכנית
בנינו את מייבש השבבים סביב רציפות: אחידות ברמת השבב בטווח ±0.1°C, יציבות נקודת הגדרה שנשמרת במהלך אפייה רכה ואפייה קשה, וקצב חימום שמתחשב בתקציב התרמי של הפוטורזיסט. ערמת החימום משתמשת ברכיבים מייצבי קוורץ עם שליטה במעגל סגור, כך שלא תתרחש חריגה בכל פעם שהדלת פועלת.
התנהגות בחדר נקי היא חלק מהעיצוב - עמידה בסטנדרט Class 1–100, אפס יצירת חלקיקים, וניהול פליטה שאינו זורק מזהמים חזרה לאוויר. אמינות מוגדרת לפעולה 24/7, מגובה בנתוני MTBF ומודולים שניתן לתחזק ללא פירוק הקו.
למה זה חשוב בליתוגרפיה
בתאי ליתוגרפיה, המייבש הזה מציג שליטה צפופה יותר על CD ופחות קבוצות תיקון. פרופילים של פוטורזיסט נשארים עקביים מקבוצה לקבוצה כי פרופיל הטמפרטורה מתמשך, נקודה.
שימוש באנרגיה יורד גם - מסה תרמית יעילה והתאוששות מהירה לאחר שינויים בקבוצות שומרות על התהליך זז במקום לחכות להתחממות. המפעילים מפסיקים לרדוף אחרי סטיות וממשיכים להפעיל את הקו.
הנה הפרטים המעשיים
התקנה דורשת חיבור פליטה ייעודי וחשמל נקי עם רגולציה קפדנית על הקו. ללא זה, תיאלצו להיאבק על יציבות נקודת ההגדרה כבר מהיום הראשון.
ה footprint מתוכנן להתקנה מחדש במסילות קיימות, אך אשרו את ממשקי הגז והחשמל מול הכלים הספציפיים שלכם לפני ההזמנה.
הכנת המערכת צריכה להיות ריצה מלאה של הכשרה תרמית - מפה של השבב, אימות נקודת הגדרה, ומעקב אחרי חלקיקים - כך שתוכלו לנעול את חלון התהליך ולהתקדם.