Hören Sie auf, Ihre Geräte statt der Wafer zu heizen!
Die meisten Infrarotlampen sind ziemlich unpraktisch – sie abgeben Wärme in alle Richtungen, also in einem 360-Grad-Winkel. Wenn man eine solche Lampe in ein Halbleitergerät einbaut, wird viel Energie verschwendet. Anstatt dass die Wärme auf die Wafer trifft, prallt sie gegen die Innenseiten des Geräts. Das Ergebnis ist ein Gehäuse, das so heiß wird, dass es einen Bediener verbrennen oder alle Temperatursensoren im Gebäude auslösen kann. Das ist frustrierend – und im Grunde genommen eine Verschwendung.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden: Lampen mit Goldbeschichtung.
Der Trick mit dem Gold
Es funktioniert folgendermaßen: Auf die Rückseite der Quarzkapsel wird eine dünne Schicht Gold aufgetragen. Da Gold ein hervorragender Reflektor ist, fungiert es im Prinzip wie ein Spiegel für Wärme. Statt dass die Energie wieder in das Gerät zurückfließt, wird sie durch die Goldbeschichtung nach vorne gelenkt. Dadurch entsteht ein konzentrierter Strahl, der genau dorthin gerichtet wird, wo er benötigt wird.
Es handelt sich dabei um eine einfache Lösung – doch sie verändert alles. Die Wände der Geräte bleiben kühl. Man muss keine großen Kühllüfter verwenden, um den Gesetzen der Physik entgegenzuwirken – man verhindert einfach, dass die Wärme unnötig verloren geht.
Wie man sie einsetzt
Das Beste daran: Es handelt sich dabei um Ersatzteile, die direkt eingebaut werden können. Wenn man Standard-Infrarotröhren verwendet, kann man diese einfach austauschen. Die Verkabelung und die elektrischen Anschlüsse bleiben unverändert.
Aber Achtung: Da die Energie konzentriert nach vorne geleitet wird, erhöht sich die Wärmedichte am Fokuspunkt stark. Man sollte daher die Abstände sorgfältig überprüfen. Falls die PID-Steuerung nicht darauf ausgelegt ist, könnte die Zieltemperatur überschritten werden. Achten Sie also auf die Temperatursensoren, damit keine heißen Stellen auf den Wafern entstehen.
Warum das wichtig ist
Wenn man das Problem der „heißen Wände“ beseitigt, wird das Arbeiten viel einfacher. Die Bediener sind sicherer, und die empfindlichen Elektronikkomponenten in der Nähe der Heizkammer werden nicht beschädigt. So verwandelt sich eine ineffiziente Glühbirne in ein präzises Werkzeug. Man zahlt nicht mehr für überflüssige Energieverbrauch – stattdessen gelangt die Wärme genau dorthin, wo sie hingehört.