Maximale Leistung aus der Heizung der Halbleiterwafer herausholen
Wenn man mit Halbleiterwafern arbeitet, darf es auf keinen Fall zu Störungen durch Atmosphäresepartikel kommen. Deshalb werden ozonfreie IR-Lampen verwendet. Doch hier liegt das Geheimnis: Die Lampe selbst ist nur die Hälfte des Problems. Das eigentliche Wunder geschieht dadurch, wie die Photonen tatsächlich transportiert werden.
Warum wir Gold verwenden
Die meisten Menschen beginnen mit Aluminiumreflektoren – doch diese absorbieren viel zu viel Energie. Das ist Verschwendung. Wir verwenden stattdessen eine Beschichtung aus hochreinem Gold. Warum? Weil Gold hervorragend darin ist, naheinfrarotes Licht zurückzuschlagen. Anstatt dass die Wärme in den Lampenkörper gelangt und dort verschwendet wird, lenkt die Goldschicht die IR-Wellen direkt auf den Wafer. Dadurch wird der Wärmefluss pro eingesetztem Watt deutlich stärker. Es entsteht ein besseres thermisches Profil, und die Aufwärmzeiten werden erheblich verkürzt. Es funktioniert einfach besser.
Fokussierung auf die Oberfläche
In dieser Branche bedeutet Uneinheitlichkeit, dass etwas nicht richtig funktioniert. Ein mit Gold beschichteter Reflektor wandelt das breit gestreute Licht in einen konzentrierten Strahl um. Dadurch kann man die Abmessungen der Heizvorrichtung verringern, ohne dabei an der Wärmestärke einzubüßen. Wir sorgen dafür, dass jeder einzige Watt tatsächlich seine Aufgabe erfüllt – nämlich den Siliziumwafer zu erwärmen, nicht die umliegende Luft.
Die praktischen Nachteile
Es gibt jedoch einen Haken: Gold ist nicht billig. Die Anfangskosten für die Reflektoren sind höher als bei Polyaluminium. Doch man zahlt diesen initialen Aufwand im Austausch gegen niedrigere Stromkosten und schnellere Arbeitszyklen. Langfristig lohnt sich das meistens.
Noch ein Tipp: Achten Sie auf die Kühlungssysteme
Da der Goldreflektor so viel Energie auf den Wafer abgibt, ändert sich auch die Art und Weise, wie die Lampe von der Rückseite aus abkühlt. Wenn Ihr Kühlungssystem nicht dafür geeignet ist, werden die Glühfäden viel zu früh zerstört. Halten Sie den Luftstrom konstant – dann halten die Lampen länger.