Ihre Wafer sauber halten: Die Wahrheit über das Heizen
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, wissen Sie bereits, dass Luftfilter nur die halbe Miete sind. Das eigentliche Problem sind die Stoffe, die man nicht sehen kann. Ausgasungen sowie winzige Partikel, die von den Heizelementen ausgehen, können eine Charge ruinieren, bevor man überhaupt merkt, dass es ein Problem gibt.
Deshalb verwenden wir für unsere IR-Heizelemente hochreinen synthetischen Quarz. Dadurch wird die Kontamination bereits im Vorfeld verhindert.
Warum das Material tatsächlich wichtig ist
Standardglas oder billiger Quarz neigen dazu, bei hohen Temperaturen Probleme zu machen. Sie können Ionen freisetzen oder Mikropartikel auf die Arbeitsoberfläche abgeben. Wir verwenden hochreinen Quarz, weil er chemisch inaktiv ist – dadurch müssen Sie sich keine Sorgen um metallische Verunreinigungen machen, die auf die Waferoberfläche gelangen könnten. Zudem lässt er kurzwelliges Infrarotlicht durch, ohne es aufzunehmen. Das ist großartig, denn so bleibt die Heizröhre relativ kühl, während die Wafer die ganze Hitze abbekommt.
Konstruktion für die Praxis
Wir kennen die typischen Fehlerquellen bei industriellen Heizsystemen – daher haben wir unsere Heizsysteme so konzipiert, dass solche Probleme vermieden werden. Zum Beispiel verschweißen wir die Dichtungen – ohne Klebstoffe oder andere Adhäsiva. Dadurch gibt es nichts, was ausgasen und die Umgebung verschmutzen könnte. Außerdem verwenden wir spezielle Anschlüsse, damit die elektrische Verbindung stabil bleibt. Keine Spannungen, keine Verschlechterung im Laufe der Zeit – einfach eine feste Verbindung.
Ein praktischer Tipp: Wenn Sie Hochleistungsheizsysteme für schnelles Thermalverarbeitungsverfahren verwenden, seien Sie vorsichtig. Die Hitzedichte ist sehr hoch. Stellen Sie sicher, dass Ihre Kühlsysteme dazu in der Lage sind – sonst kann die Kammer beschädigt werden.
Der Kompromiss
Quarz ist zwar robust, aber auch bruchempfindlich. Er kann thermischen Schocks besser standhalten als die meisten Materialien – doch er ist nicht unzerstörbar. Ein einziger starker mechanischer Stoß oder ein plötzlicher Spritz von kaltem Wasser kann dazu führen, dass die Röhre sofort bricht. Das ist ein beunruhigendes Geräusch. Um das zu vermeiden, empfehlen wir die Verwendung von Vibrationsschlammern. Dadurch bleibt alles stabil während des Betriebs der Maschine und es entstehen keine störenden Risse.
Letztendlich haben wir einfach die organischen Bindemittel weggelassen und stattdessen hochreinen Silizium verwendet. Es handelt sich dabei um eine einfache Lösung: Verwenden Sie Materialien, die nicht reagieren – dann erhalten Sie saubere Wafer. Einfach so.