ফ্যাব ফ্লোরে, ফটোরেসিস্ট বেক অপশনাল নয়—এটি তাপীয় বাজেট। সফট বেক বা হার্ড বেক যদি এক দিগ্রীও বিচলিত হয়, তাহলে গুরুত্বপূর্ণ মাত্রা বিকৃত হয়ে যায়। আপনি এটি CD-SEM-এ তৎক্ষণাৎ দেখতে পান। আমরা আমাদের কোয়ার্টজ বোট হিটিং ল্যাম্পগুলি এ পরিবর্তনশীলতা দূর করার জন্য ডিজাইন করেছি।
প্রযুক্তিগত দিক থেকে যা গুরুত্বপূর্ণ
এই ল্যাম্পগুলি উচ্চ-শুদ্ধতার কোয়ার্টজের মাধ্যমে ওয়েফারে সংক্ষিপ্ত তরঙ্গ ইনফ্রারেড পাঠায়, তাই তাপটি সরাসরি, দ্রুত এবং কঠোরভাবে নিয়ন্ত্রিত। মূল স্পেসিফিকেশন হল বোটের উপর ±0.1°C তাপমাত্রার স্তরের সুষমতা, যা দ্রাবক অপসারণকে স্থিতিশীল এবং পলিমার প্রবাহকে স্থিতিশীল রাখে। এগুলি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমে চলে এবং একবার স্থির অবস্থায় প্রবাহিত হলে শূন্য কণা উৎপাদন সহ স্থির থাকে। আউটপুট পুনরাবৃত্তি হাজার হাজার চক্রের মধ্যে সঠিক থাকে। প্রক্রিয়া প্রকৌশলীর জন্য, এর মানে হল যে তাপীয় প্রোফাইল একটি অস্থির পরিবর্তনশীল নয়—এটি কেবল একটি পরামিতি যা আপনি লক করতে পারেন এবং ভুলে যেতে পারেন।
কেন এটি লিথোগ্রাফিতে টিকে থাকে
লিথোগ্রাফিতে, বেক পদক্ষেপটি ওভারলে এবং এচ সিলেক্টিভিটির জন্য ভিত্তি স্থাপন করে। আমাদের কোয়ার্টজ হিটিং ল্যাম্পগুলি বোটের তাপমাত্রা স্থিতিশীল রাখে, চক্রের পর চক্র, যাতে সফট বেক এবং হার্ড বেক স্পেসিফিকেশনের মধ্যে থাকে যদিও লটগুলি উচ্চ স্তরে স্তূপীকৃত থাকে। ফলস্বরূপ, এটি কম বিচ্যুতি, কম স্ক্র্যাপ, এবং পরিকল্পনা করা যায় এমন লাইন-অফ-সাইট ফলন নিয়ে আসে। দ্রুত র্যাম্প-আপ এবং সংক্ষিপ্ত ডওয়েল শক্তির ব্যবহার কমিয়ে দেয়, এবং নির্ভরযোগ্যতা প্রোফাইল 24/7 লাইনে চলতে থাকে কম অপ্রত্যাশিত বিরতির সাথে।
ব্যবহারিক বিস্তারিত
ল্যাম্পগুলি পরিচ্ছন্নভাবে সংহত হয়, তবে বোটের আকারের সাথে সঠিকভাবে সামঞ্জস্য করতে হবে। সঠিক সংযোগকারী সহ একটি স্থির শক্তি সরবরাহ ব্যবহার করুন—অন্যথায় আপনি প্রয়োজনীয় সুষমতা ধরে রাখতে পারবেন না। রেসিপি সমন্বয় এবং আপনার ফটোরেসিস্ট স্ট্যাকের বিরুদ্ধে তাপীয় প্রোফাইল যাচাই করার জন্য একটি সংক্ষিপ্ত কমিশনিং রান পরিকল্পনা করুন। একবার সেট হয়ে গেলে, প্রক্রিয়াটি পুনরাবৃত্তিযোগ্য থাকে, এবং আপনি রক্ষণাবেক্ষণের সময়সীমা বাড়িয়ে দিতে পারবেন কারণ ল্যাম্পগুলি পরিষেবা কলগুলির মধ্যে দীর্ঘ সময় চলে।