保持洁净室的无尘状态：100级洁净室的加热秘诀 如果你正在运营100级洁净室，那你肯定知道其中的难度。这里容不得半点差错——哪怕有一点点灰尘或加热元件释放出的微量气体，都会导致整个生产批次失败。 大多数普通加热器并不适合这种环境。因为它们在加热和冷却过程中会不断释放出微小的碎屑。这简直是一场噩梦。...

别再让设备承受不必要的热量了 大多数红外灯都会向各个方向散发热量——也就是360度全方位散热。如果把这类灯安装在半导体制造设备中，就会浪费大量能源。 这些热量并非作用于晶圆上，而是直接照射到设备的内部墙壁上。结果就是，设备的壳体会变得极其烫手，甚至可能烧伤操作人员，或者触发建筑物内的温度警报装置。...