停止在晶圆干燥过程中浪费热量 说实话，晶圆制造过程中的大多数干燥步骤其实都相当于昂贵的“空间加热器”。我们投入了大量的能量，但其中很大一部分热量只是被墙壁反射掉或散失到机壳中。这无疑是一种能源的浪费，而且让人十分恼火。 我们找到了更好的方法。与其让这些能量白白浪费，不如使用镀金反射器，将能量精准地...

减少半导体制造过程中的碳排放 说实话，半导体制造是一个耗能极高的过程。那些传统的加热方式其实非常浪费能源——它们会加热空气、整个房间以及墙壁，只为了让晶圆达到合适的温度。这样的做法不仅效率低下，而且成本高昂，对于那些希望实现碳中和目标的人来说，无疑是个噩梦。 关键在于外壳的设计 大多数人看到这种外...

如何保持洁净室的清洁：关于加热装置的真相 在半导体和光学领域，哪怕是一粒微小的灰尘也会带来灾难性后果——它足以毁掉整块晶圆。 问题在于：大多数红外加热器都会产生污染物。当它们工作时，会释放出微小的颗粒物。为避免这些颗粒物破坏产品，我们使用高纯度的石英玻璃作为保护层。可以说，它就是为晶圆提供保护的“...

如何让100级洁净室始终保持清洁状态 在100级洁净室内工作时，温度控制是个棘手的问题。关键不在于把温度控制在合适范围内，而在于那些肉眼看不见的微小颗粒。 在这种环境中，大多数加热元件都会带来麻烦。因为它们在加热和冷却过程中会释放出微量杂质。在半导体或医疗设备制造厂里，这种问题简直就是灾难——哪怕...

为何我们放弃传统对流式烤箱，转而使用红外线固化技术 大多数半导体制造厂都在逐步放弃那些旧式的对流式烤箱。这其实是很合理的——在无铅化生产的压力以及降低能源成本的背景下，传统方式已经不再适用了。 想想传统的热风烤箱吧：你实际上是在为加热一个巨大的金属箱以及其中的空气而付钱，而最终只是为了让某个小型的...

让洁净室中的热处理过程真正“智能化” 如果想要将半导体制造厂引入工业4.0时代，你就會发现，仅仅安装一些复杂的软件远远不够。还需要具备能够与数据良好配合的硬件。 问题在于：传统的对流式加热方式效率太低，而且操作起来也很繁琐。在洁净室中，依赖空气来传递热量是一种风险很高的做法，因为它会破坏层流状态，...

别再让半导体加工设备变成“烤箱”了 普通的红外加热器有个坏习惯：它们会将热量散播到各个方向。当这些加热器被安装在一个空间狭小的设备外壳中时，那些热量并不会消失，而是会传递到外壳的内壁上。很快，整个设备外壳就会变成一个巨大的散热体。 结果就是：设备外壳的温度会高得无法触摸，而冷却系统则不得不拼命工作...

为什么合适的材料才是让灯具长久使用的秘诀呢？ 让我们来谈谈在工厂生产中真正重要的因素。那些照明灯其实并非简单的部件，它们可是维持整个生产流程运转的关键所在。 因此，在制造这些灯具时，我们首先会选用优质的材料——用于制造灯体的则是顶级石英，而用于制作灯丝的则是高纯度的钨。虽然这只是简单的组合，但正是...

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤不是可选项——它是热预算。软烘或硬烘温度偏差哪怕几分之一度，关键尺寸就会偏离。通过CD-SEM可以立即看到。我们设计的石英舟加热灯就是为消除这种变量而来。 技术关键点 这些加热灯通过高纯度石英发射短波红外线直接照射晶圆，传热速度快且受控严格。关键指标是石英舟内晶圆级温度均匀...