http://twintube-ir.com/zh/tags/%E5%BE%B7%E5%8A%A0/ Recent content in 德加 on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo zh Sat, 20 Jun 2026 05:27:06 +0800 http://twintube-ir.com/zh/posts/wafer-degas-infrared-heater/ Sat, 20 Jun 2026 05:27:06 +0800 http://twintube-ir.com/zh/posts/wafer-degas-infrared-heater/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="晶圆脱气红外加热器"></p> <p>在光刻工艺中，如果在软烘烤过程中晶圆上出现2°C的局部过热现象，那么就会导致关键尺寸发生变化，同时也会增加曝光时间。显然，不可能在每批产品加工后都去处理这种温度波动问题。而采用红外加热器进行晶圆脱气处理，可以确保温度控制在理想范围内——即保持在与光阻涂层相关的温度范围内，而非受工艺变化的影响。</p>