停止热量浪费：为何金制反射器如此重要
如果您曾经在无尘车间工作过，就会知道如何让晶圆达到合适的温度，同时又不浪费能源是一件很麻烦的事。
问题在于：普通的红外灯会将热量向四周散发，相当于360度全方位发热。如果没有反射器，其中一半的宝贵能量就会白白浪费掉。这显然是一种浪费。
因此，我们使用镀金反射器。它们就像镜子一样，能将那些被浪费的能量重新反射回晶圆上。
为什么选择黄金？
当然，铝的价格更便宜。但铝会吸收大量的红外辐射。而黄金则不同——它可以将98%的红外辐射反射回去。这样一来，无需增加功率，就能让晶圆获得更多热量。此外，它还能避免其他设备过热，这对所有人来说都是好处。
“热点”警告
当用这种方式集中热量时，目标区域的温度会迅速上升，从而缩短处理时间。不过，这样做也有风险：因为热量过于集中，很容易出现局部过热的情况。如果灯泡的位置偏差几毫米，就可能导致加热不均匀，甚至烧毁晶圆的中央部分。
安装时务必小心，确保焦点位置准确无误。
保持清洁
这些灯泡设计为可直接替代现有的设备。我们使用高纯度的石英材料，这样就不必担心气体污染问题。同时，黄金层是通过真空沉积的方式制成的，因此不会因灯泡的加热或冷却而脱落。
需要提醒的是：黄金对清洁剂相当敏感。如果使用刺激性强的清洁剂来清洁，就会破坏黄金涂层。一旦涂层被破坏，效率就会下降。请务必使用指定的清洁工具。
如果安装得当，就能让更多的能量照射到晶圆上，同时降低整体能耗。这其实就是运用了物理学原理来提高效率。