Wafer on Twin Tube Infrared Heating Tech

Cảm biến nhiệt độ dành cho thiết bị xử lý wafer

Tue, 28 Jul 2026 04:44:18 +0800

Làm thế nào để sử dụng công nghệ sưởi ấm và cảm biến bằng tia hồng ngoại một cách hiệu quả trong các nhà máy sản xuất wafer
Hiện nay, có rất nhiều nỗ lực nhằm giúp các thiết bị sản xuất chip bán dẫn trở nên “không phát thải carbon”. Để làm được điều này, chúng ta đang từ bỏ phương pháp sưởi ấm thông thường và chuyển sang sử dụng tia hồng ngoại ngắn bước sóng.

Máy sấy wafer cảm biến MEMS

Fri, 24 Jul 2026 11:17:01 +0800

Giữ cho các tấm wafer MEMS luôn sạch sẽ trong quá trình sấy khô
Nếu bạn đang vận hành phòng sạch loại 100, chắc hẳn bạn đã từng gặp phải tình trạng khó chịu do sự xuất hiện của các hạt bụi hoặc chất khí không mong muốn. Điều này thường xảy ra trong giai đoạn sấy khô. Hầu hết các loại bộ sưởi thông thường đều không phù hợp để sử dụng trong mục đích này – chúng có xu hướng tạo ra các hạt vi mô hoặc giải phóng các chất hữu cơ bay hơi ngay khi được làm nóng.

Bộ sưởi wafer tiết kiệm năng lượng

Thu, 23 Jul 2026 11:33:37 +0800

Giữ cho các tấm wafer luôn sạch sẽ: Sự thật về việc sử dụng nguồn nhiệt

Nếu bạn đang vận hành phòng sạch loại Class 100, bạn chắc hẳn đã biết rằng bộ lọc không khí chỉ là yếu tố quan trọng một phần thôi. Vấn đề thực sự nằm ở những thứ mà chúng ta không thể nhìn thấy được. Các chất độc hại được giải phóng từ các bộ phận tạo nhiệt có thể gây hại cho các tấm wafer trước cả khi chúng ta kịp nhận ra có vấn đề.

Bộ phản quang dùng cho đèn sấy wafer

Mon, 20 Jul 2026 11:09:22 +0800

Đảm bảo nhiệt độ phù hợp trong quá trình xử lý wafer
Nếu bạn từng trải qua việc xử lý wafer, chắc hẳn bạn biết rõ những khó khăn liên quan đến hiện tượng wafer bị biến dạng hoặc có sự phân bố hóa chất không đều trên bề mặt nó. Nguyên nhân thường là do nhiệt độ không được phân bố đồng đều trên bề mặt wafer.

Chính vì vậy, chúng ta sử dụng các hệ thống phản xạ ánh sáng hồng ngoại có độ phản xạ cao. Thay vì để nhiệt tỏa ra mọi hướng, chúng ta sử dụng các bộ phản xạ này để hướng chùm tia hồng ngoại đến đúng vị trí cần thiết. Trong các nhà máy hiện đại, những bộ phản xạ này không chỉ là những tấm gương thông thường; chúng giúp rút ngắn thời gian xử lý và tránh việc chi phí năng lượng tăng vọt.

Khoảng cách an toàn khi làm nóng wafer

Mon, 13 Jul 2026 14:32:48 +0800

Làm thế nào để làm nóng wafer một cách hiệu quả?
Khi làm nóng các tấm silicon, mỗi watt năng lượng đều rất quan trọng. Điều quan trọng không chỉ là tăng cường lượng nhiệt được cung cấp, mà còn phải đảm bảo rằng năng lượng đó thực sự tác động lên wafer, chứ không chỉ làm nóng các bức tường của buồng làm việc.

Đó chính là lúc các bộ phản xạ được phủ bằng vàng có vai trò quan trọng.

Cảm biến hồng ngoại độ chính xác dùng cho wafer

Sat, 11 Jul 2026 08:32:50 +0800

Khi vận hành phòng sạch loại 100, việc chỉ đảm bảo mức độ sạch “gần như hoàn hảo” là chưa đủ. Chỉ cần có một mảnh vụn nhỏ từ các bộ phận gia nhiệt – thứ mà ngay cả mắt thường cũng không thể nhìn thấy – thì toàn bộ lô wafer sản xuất ra sẽ trở thành rác thải. Đó quả là một cơn ác mộng.

Đó là lý do tại sao chúng tôi ngừng sử dụng kính thông thường cho các bóng đèn hồng ngoại. Kính thông thường chứa nhiều tạp chất, và những tạp chất này không thể chịu được nhiệt độ cao; chúng sẽ bị phá hủy và gây ra nhiều vấn đề. Chúng tôi đã chuyển sang sử dụng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao. Loại thạch anh này vẫn giữ được tính ổn định và độ sạch của mình.

Đèn sưởi dùng trong quy trình xử lý wafer SiC

Fri, 03 Jul 2026 08:12:42 +0800

Trên dây chuyền sản xuất, tấm wafer SiC chỉ đơn giản là nằm yên tại chỗ, chờ đợi quá trình nung để cố định mô hình trên bề mặt wafer. Chỉ cần nhiệt độ thay đổi vài phần trăm độ, việc kiểm soát kích thước của wafer sẽ bị ảnh hưởng; tỷ lệ sản phẩm hoàn chỉnh sẽ giảm xuống ngay từ đầu, trước cả khi máy khắc có thể phát hiện ra điều đó.

Lò sưởi hồng ngoại dùng để loại bỏ khí trong wafer

Sat, 20 Jun 2026 05:27:05 +0800

Trong quá trình sấy khô wafer, loại bỏ khí trong wafer, hoặc xử lý lớp phủ quang học, việc sử dụng tia hồng ngoại giúp rút ngắn thời gian xử lý và duy trì nhiệt độ ở mức cần thiết. Điều này giúp đảm bảo độ đồng đều về nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer, với sai số dưới ±0,1°C. Nhiệt độ được kiểm soát chính xác từ lần xử lý này sang lần xử lý khác. Thiết bị này hoạt động trong môi trường sạch loại 1–100, không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào, và có thiết kế kín để giảm lượng khí thải ra môi trường. Nhờ vậy, bạn có thể duy trì chất lượng sản phẩm ổn định 24/7, không có sự gián đoạn trong quá trình sản xuất, và có thể lên kế hoạch bảo trì một cách hiệu quả.

Bộ gia nhiệt xử lý tấm quang học

Wed, 03 Jun 2026 12:10:15 +0800

On the fab floor, photoresist processing doesn’t forgive thermal drift. A 0.5°C hot/cold spread across the wafer during soft bake or hard bake shows up as linewidth variation, and one particle event can kill a lot. You need a wafer processing heater that acts like a fixed process constant, not another variable. What actually matters is repeatable heat delivery, without fighting the cleanroom. We built our optical wafer processing heater around short-wave infrared (SWIR) and a quartz-enhanced thermal architecture, and we’ve verified ±0.1°C wafer-level uniformity on 300 mm wafers. It runs in Class 1–100 cleanrooms, with zero particle generation verified down to sub-0.1 μm thresholds. Run-to-run photoresist bake profiles stay consistent, and in production windows it holds up to 24/7 operation with zero unplanned downtime. Here’s why it works in practice: it protects yield and tightens your thermal budget. You get tight control over soft bake and hard bake temperatures, so you cut photoresist defects that trace back to thermal excursions. The fast thermal response trims cycle time, and the stable setpoint means less rework and scrap. Energy use drops too, thanks to efficient SWIR coupling and a low thermal mass design. And it integrates into existing lithography tracks without forcing you to re-qualify the whole line. Installation is straightforward, but the details still matter. Confirm mechanical and electrical integration with your lithography track—connector type, voltage compatibility, the works. Treat the swap-in like any sensitive module: clean handling to keep contamination out, and make sure your coolant and exhaust paths match the unit’s thermal dissipation requirements. Do that, and the heater behaves like a predictable process module, not a risk you have to manage.