Як зберегти пластини MEMS бездоганно чистими під час сушіння
Якщо ви працюєте у чистій кімнаті класу 100, ви вже знаєте, наскільки проблематичною є ситуація, коли відбувається вивільнення газів чи поява сторонніх частинок там, де їм не місце. Це зазвичай трапляється під час фази сушіння. Більшість стандартних нагрівачів не підходять для цієї мети – вони починають виділяти мікроскопічні частинки чи леткі органічні сполуки як тільки нагріваються.
Саме тому ми використовуємо лампи інфрачервоного випромінювання з високоякісного синтетичного кварцу.
Чому саме кварц?
Усе зводиться до матеріалу. Ми використовуємо склокремнезем без майже жодних домішок, тож не потрібно хвилюватися про можливе металеве забруднення, яке може пошкодити сенсори MEMS. На відміну від нагрівачів із металевим корпусом, ці кварцові трубки є нереактивним бар’єром. Інфрачервоне випромінювання проходить прямо через рідку плівку на поверхні пластини, швидко її сушуючи, не торкаючись при цьому поверхні. Відсутність контакту означає відсутність подряпин та можливості перекриття забруднення. Просто.
Правильне регулювання температури
Щоб прискорити процес сушіння, ми використовуємо короткохвильове інфрачервоне випромінювання. Мета полягає у тому, щоб енергія потрапляла безпосередньо на поверхню пластини, а не йшла на нагрівання всього повітря в камері. Але потрібно бути обережними щодо щільності потужності. Лампи швидко нагріваються, що є плюсом, але така інтенсивність може спричинити тепловий стрес, якщо пластина не знаходиться у ідеальному положенні. Я завжди раджу використовувати точний контролер PID. Це дозволяє підтримувати стабільну температуру та уникнути появи „гарячих точок“, які можуть пошкодити структуру MEMS.
Встановлення в вашу лінію
Ми розробили ці лампи так, щоб вони могли замінити існуючі пристрої. Ми усунули всі зайві клеї та використали кераміку високої температури для кріплення. Таким чином, ніщо не може впасти на виробничу лінію.
Але є один недолік. Високоякісний кварц є хімічно інертним, але водночас крихким. Ваша команда повинна бути обережною під час роботи з цими лампами. Обов’язково використовуйте рукавички без ворсу – щоразу. Навіть один відбиток пальця залишає олійні сліди, які при нагріванні можуть пошкодити кварц. У результаті з’являються постійні „темні плями“, а розподіл температури стає нерівномірним.