http://twintube-ir.com/tr/tags/tekne/ Recent content in Tekne on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo tr Sun, 07 Jun 2026 03:36:26 +0800 http://twintube-ir.com/tr/posts/quartz-boat-heating-lamp-fab/ Sun, 07 Jun 2026 03:36:26 +0800 http://twintube-ir.com/tr/posts/quartz-boat-heating-lamp-fab/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Kuvars tekne ısıtma lambası fabrika"></p> <p>Fab yüzeyinde fotoresist pişirme tercihe bağlı değildir—bu, termal bütçedir. Soft bake veya hard bake işlemi bir derece bile kayarsa, kritik boyutlar sapar. Bu durum CD-SEM üzerinde anında görülür. Kuvars yük arabası ısıtma lambalarımızı, bu değişkenliği ortadan kaldırmak için tasarladık.</p> <h2 id="teknik-olarak-önemli-olan">Teknik olarak önemli olan</h2> <p>Bu lambalar, yüksek saflıkta kuvars üzerinden kısa dalga boylu infrared ışık vererek ısıyı doğrudan, hızlı ve sıkı kontrollü olarak wafer’a iletir. Ana teknik parametre, yük arabası genelinde wafer seviyesinde ±0.1°C uniformitedir; bu, solvent uzaklaştırmanın tutarlı kalmasını ve polimer akışının stabil olmasını sağlar.<br> Lambalar Class 1–100 temiz oda ortamlarında çalışır ve çalışma durumuna ulaştıktan sonra sıfır partikül üretimi ile sabit kalır. Çıkış tekrarlanabilirliği binlerce çevrim boyunca sıkıdır. Proses mühendisi açısından bu, termal profilin sürpriz olmaması; kilitleyip unutabileceğiniz bir parametre olması anlamına gelir.</p>