http://twintube-ir.com/th/tags/mems/ Recent content in MEMS on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo th Fri, 24 Jul 2026 11:17:01 +0800 http://twintube-ir.com/th/posts/achieving-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-via-high-purity-quartz-ir-lamps/ Fri, 24 Jul 2026 11:17:01 +0800 http://twintube-ir.com/th/posts/achieving-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-via-high-purity-quartz-ir-lamps/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="เครื่องอบแห้งวงจรเซ็นเซอร์ MEMS"></p> <h1 id="การรกษาความสะอาดของแผนวสด-mems-ในชวงกระบวนการทำใหแหง">การรักษาความสะอาดของแผ่นวัสดุ MEMS ในช่วงกระบวนการทำให้แห้ง</h1> <p>หากคุณทำงานในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 100 คุณคงรู้ดีถึงปัญหาที่เกิดขึ้น เช่น การมีก๊าซหรืออนุภาคต่างๆ ปนเปื้อนอยู่ในบริเวณที่ไม่ควรมี ปัญหาเหล่านี้มักเกิดขึ้นในช่วงกระบวนการทำให้แห้ง หัวเร้าความร้อนแบบมาตรฐานนั้นไม่เหมาะสำหรับการใช้งานนี้ เพราะมักจะปล่อยฝุ่นขนาดเล็กหรือสารอินทรีย์ที่ระเหยได้ง่ายออกมาทันทีที่มีความร้อน</p> <p>นั่นคือเหตุผลที่เราเลือกใช้หลอดไฟ IR ที่ทำจากควอตซ์บริสุทธิ์<br> <strong>ทำไมถึงเลือกควอตซ์?</strong><br> เป็นเพราะคุณสมบัติของวัสดุนั่นเอง เราใช้ซิลิกาที่มีความบริสุทธิ์สูง จึงไม่ต้องกังวลเรื่องสิ่งปนเปื้อนที่อาจทำลายเซ็นเซอร์ MEMS ของคุณได้</p> <p>ต่างจากหัวเร้าความร้อนที่มีโครงสร้างเป็นโลหะ หลอดควอตซ์เหล่านี้จะทำหน้าที่เป็นอุปสรรคที่ไม่มีปฏิกิริยากับสารต่างๆ รังสี IR จะสามารถผ่านผิวหน้าของแผ่นวัสดุได้โดยตรง ทำให้แผ่นวัสดุแห้งได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่มีการสัมผัสกับพื้นผิวโดยตรง ดังนั้นจึงไม่มีรอยขีดข่วนหรือการปนเปื้อนใดๆ เกิดขึ้น</p> <p><strong>การควบคุมความร้อนให้เหมาะสม</strong><br> เพื่อให้กระบวนการทำให้แห้งเกิดขึ้นได้รวดเร็ว เราจึงใช้รังสี IR ความยาวคลื่นสั้น จุดประสงค์คือเพื่อให้พลังงานถูกส่งตรงไปยังพื้นผิวของแผ่นวัสดุ แทนที่จะสูญเสียพลังงานไปกับการทำให้อากาศในห้องร้อนขึ้น</p> <p>แต่มีข้อควรระวังอยู่อย่างหนึ่ง นั่นคือความเข้มข้นของพลังงาน หลอดไฟเหล่านี้สามารถเพิ่มความร้อนได้อย่างรวดเร็ว ซึ่งเป็นข้อดี แต่ความเข้มข้นนี้อาจก่อให้เกิดความเครียดทางความร้อนได้ หากแผ่นวัสดุไม่อยู่ในตำแหน่งที่สมดุล ผมขอแนะนำให้ใช้ตัวควบคุม PID ที่มีความแม่นยำ เพื่อให้ความร้อนกระจายตัวอย่างสม่ำเสมอ และป้องกันไม่ให้เกิดจุดร้อนที่อาจทำลายโครงสร้างของ MEMS ได้</p> <p><strong>การติดตั้งหลอดไฟเหล่านี้เข้ากับระบบของคุณ</strong><br> เราออกแบบหลอดไฟเหล่านี้ให้สามารถใช้แทนหลอดไฟเดิมได้โดยตรง เราได้กำจัดกาวที่ไม่จำเป็นออกไป และใช้วัสดุเซรามิกที่ทนความร้อนสูงแทน ด้วยวิธีนี้ จึงไม่มีสิ่งใดที่อาจหลุดออกมาและไปปนเปื้อนในกระบวนการผลิตของคุณได้</p> <p>แต่ก็มีข้อจำกัดอยู่เช่นกัน ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงนั้นมีความเป็นกลางทางเคมี แต่ก็มีความเปราะง่ายเช่นกัน ทีมงานของคุณจึงต้องระมัดระวังเป็นพิเศษ ต้องใช้ถุงมือที่ไม่มีขน เพราะแม้แต่รอยนิ้วมือเพียงนิดเดียวก็อาจทิ้งคราบน้ำมันไว้ได้ ซึ่งเมื่อมีความร้อน คราบน้ำมันนั้นก็จะฝังลึกเข้าไปในควอตซ์ ส่งผลให้เกิดจุดดำถาวรขึ้น และทำให้การกระจายความร้อนไม่สม่ำเสมออีกด้วย</p>