การรักษาความสะอาดของแผ่นวัสดุ MEMS ในช่วงกระบวนการทำให้แห้ง
หากคุณทำงานในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 100 คุณคงรู้ดีถึงปัญหาที่เกิดขึ้น เช่น การมีก๊าซหรืออนุภาคต่างๆ ปนเปื้อนอยู่ในบริเวณที่ไม่ควรมี ปัญหาเหล่านี้มักเกิดขึ้นในช่วงกระบวนการทำให้แห้ง หัวเร้าความร้อนแบบมาตรฐานนั้นไม่เหมาะสำหรับการใช้งานนี้ เพราะมักจะปล่อยฝุ่นขนาดเล็กหรือสารอินทรีย์ที่ระเหยได้ง่ายออกมาทันทีที่มีความร้อน
นั่นคือเหตุผลที่เราเลือกใช้หลอดไฟ IR ที่ทำจากควอตซ์บริสุทธิ์
ทำไมถึงเลือกควอตซ์?
เป็นเพราะคุณสมบัติของวัสดุนั่นเอง เราใช้ซิลิกาที่มีความบริสุทธิ์สูง จึงไม่ต้องกังวลเรื่องสิ่งปนเปื้อนที่อาจทำลายเซ็นเซอร์ MEMS ของคุณได้
ต่างจากหัวเร้าความร้อนที่มีโครงสร้างเป็นโลหะ หลอดควอตซ์เหล่านี้จะทำหน้าที่เป็นอุปสรรคที่ไม่มีปฏิกิริยากับสารต่างๆ รังสี IR จะสามารถผ่านผิวหน้าของแผ่นวัสดุได้โดยตรง ทำให้แผ่นวัสดุแห้งได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่มีการสัมผัสกับพื้นผิวโดยตรง ดังนั้นจึงไม่มีรอยขีดข่วนหรือการปนเปื้อนใดๆ เกิดขึ้น
การควบคุมความร้อนให้เหมาะสม
เพื่อให้กระบวนการทำให้แห้งเกิดขึ้นได้รวดเร็ว เราจึงใช้รังสี IR ความยาวคลื่นสั้น จุดประสงค์คือเพื่อให้พลังงานถูกส่งตรงไปยังพื้นผิวของแผ่นวัสดุ แทนที่จะสูญเสียพลังงานไปกับการทำให้อากาศในห้องร้อนขึ้น
แต่มีข้อควรระวังอยู่อย่างหนึ่ง นั่นคือความเข้มข้นของพลังงาน หลอดไฟเหล่านี้สามารถเพิ่มความร้อนได้อย่างรวดเร็ว ซึ่งเป็นข้อดี แต่ความเข้มข้นนี้อาจก่อให้เกิดความเครียดทางความร้อนได้ หากแผ่นวัสดุไม่อยู่ในตำแหน่งที่สมดุล ผมขอแนะนำให้ใช้ตัวควบคุม PID ที่มีความแม่นยำ เพื่อให้ความร้อนกระจายตัวอย่างสม่ำเสมอ และป้องกันไม่ให้เกิดจุดร้อนที่อาจทำลายโครงสร้างของ MEMS ได้
การติดตั้งหลอดไฟเหล่านี้เข้ากับระบบของคุณ
เราออกแบบหลอดไฟเหล่านี้ให้สามารถใช้แทนหลอดไฟเดิมได้โดยตรง เราได้กำจัดกาวที่ไม่จำเป็นออกไป และใช้วัสดุเซรามิกที่ทนความร้อนสูงแทน ด้วยวิธีนี้ จึงไม่มีสิ่งใดที่อาจหลุดออกมาและไปปนเปื้อนในกระบวนการผลิตของคุณได้
แต่ก็มีข้อจำกัดอยู่เช่นกัน ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงนั้นมีความเป็นกลางทางเคมี แต่ก็มีความเปราะง่ายเช่นกัน ทีมงานของคุณจึงต้องระมัดระวังเป็นพิเศษ ต้องใช้ถุงมือที่ไม่มีขน เพราะแม้แต่รอยนิ้วมือเพียงนิดเดียวก็อาจทิ้งคราบน้ำมันไว้ได้ ซึ่งเมื่อมีความร้อน คราบน้ำมันนั้นก็จะฝังลึกเข้าไปในควอตซ์ ส่งผลให้เกิดจุดดำถาวรขึ้น และทำให้การกระจายความร้อนไม่สม่ำเสมออีกด้วย