http://twintube-ir.com/ru/tags/%D0%BE%D0%BF%D1%82%D0%B8%D1%87%D0%B5%D1%81%D0%BA%D0%B8%D0%B9/ Recent content in Оптический on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo ru Wed, 03 Jun 2026 12:10:15 +0800 http://twintube-ir.com/ru/posts/optical-wafer-processing-heater/ Wed, 03 Jun 2026 12:10:15 +0800 http://twintube-ir.com/ru/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Оптический нагреватель для обработки пластин"></p> <p>На производственном этаже обработка фоторезиста не допускает тепловых отклонений. Разброс температуры в 0,5°C по пластине во время мягкой или жёсткой запеканки проявляется как изменение ширины линий, а одна частица может привести к значительным потерям. Необходим нагреватель для обработки пластин, который функционирует как фиксированная технологическая константа, а не как ещё один переменный параметр.</p> <p>Ключевым фактором является повторяемая подача тепла без сопротивления со стороны чистой комнаты. Мы построили наш оптический нагреватель для обработки пластин на базе коротковолнового инфракрасного излучения (SWIR) и кварцевой усиленной термической архитектуры, и подтвердили равномерность по пластине с точностью ±0,1°C на 300 мм пластинах. Он работает в чистых помещениях класса 1–100 с нулевой генерацией частиц, проверенной на порогах ниже 0,1 мкм. Профили запекания фоторезиста остаются стабильными от цикла к циклу, а в производственных условиях устройство выдерживает круглосуточную работу 24/7 без незапланированных простоев.</p>