http://twintube-ir.com/ru/tags/%D0%BE%D0%B1%D1%80%D0%B0%D0%B1%D0%BE%D1%82%D0%BA%D0%B0/ Recent content in Обработка on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo ru Fri, 03 Jul 2026 08:12:42 +0800 http://twintube-ir.com/ru/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ Fri, 03 Jul 2026 08:12:42 +0800 http://twintube-ir.com/ru/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Лампа нагревателя для обработки кристаллов SiC"></p> <p>На производственной линии пластина из СиК просто лежит там, ожидая процедуры обработки фотополимером, которая закрепляет форму поверхности пластинки. Даже незначительное изменение температуры может привести к сбоям в контроле размеров поверхности пластинки — качество продукции ухудшается ещё до того, как происходит процесс обработки.</p> <p><strong>Что действительно имеет значение</strong> Мы используем галогеновую лампу с короткими волнами в инфракрасном диапазоне, размещенную в кварцевом корпусе. Это обеспечивает быстрый ответ температуры и высокую однородность температуры на всей поверхности пластинки. Уровень точности контроля температуры составляет ±0,1°C, что позволяет сохранять стабильность параметров процесса при каждой партии продукции.</p> http://twintube-ir.com/ru/posts/optical-wafer-processing-heater/ Wed, 03 Jun 2026 12:10:15 +0800 http://twintube-ir.com/ru/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Оптический нагреватель для обработки пластин"></p> <p>На производственном этаже обработка фоторезиста не допускает тепловых отклонений. Разброс температуры в 0,5°C по пластине во время мягкой или жёсткой запеканки проявляется как изменение ширины линий, а одна частица может привести к значительным потерям. Необходим нагреватель для обработки пластин, который функционирует как фиксированная технологическая константа, а не как ещё один переменный параметр.</p> <p>Ключевым фактором является повторяемая подача тепла без сопротивления со стороны чистой комнаты. Мы построили наш оптический нагреватель для обработки пластин на базе коротковолнового инфракрасного излучения (SWIR) и кварцевой усиленной термической архитектуры, и подтвердили равномерность по пластине с точностью ±0,1°C на 300 мм пластинах. Он работает в чистых помещениях класса 1–100 с нулевой генерацией частиц, проверенной на порогах ниже 0,1 мкм. Профили запекания фоторезиста остаются стабильными от цикла к циклу, а в производственных условиях устройство выдерживает круглосуточную работу 24/7 без незапланированных простоев.</p>