http://twintube-ir.com/ru/tags/%D0%B5%D0%B4%D0%B8%D0%BD%D0%B8%D1%86%D0%B0/ Recent content in Единица on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo ru Tue, 09 Jun 2026 03:21:28 +0800 http://twintube-ir.com/ru/posts/infrared-lamp-with-air-knife-unit/ Tue, 09 Jun 2026 03:21:28 +0800 http://twintube-ir.com/ru/posts/infrared-lamp-with-air-knife-unit/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Инфракрасная лампа с блоком воздухоножа"></p> <p>На производственном участке запекание фоторезиста — это не дополнительная опция, а строго регламентированный тепловой бюджет. Отклонение температуры на 1°C может изменить критические размеры, а одна частица с горячей зоны способна испортить множество добротных пластин. Поэтому мы разработали инфракрасную лампу с блоком воздушного ножа, которая рассматривает эти условия как базовые, а не исключительные.</p> <p><strong>Что важно под капотом</strong><br> Мы совмещаем излучатели коротковолнового инфракрасного диапазона с воздушным ножом высокой скорости. Излучатели срабатывают за миллисекунды, что обеспечивает жесткий замкнутый график контроля и равномерность температуры на пластине в пределах ±0.1°C по всей области запекания. Воздушный нож разрушает пограничный слой и удаляет микрозагрязнения, при этом путь выхлопа изолирован, что поддерживает стабильное количество частиц в диапазоне Class 1–100. Плотность мощности регулируется для пластин диаметром от 150 мм до 300 мм, а тепловой профиль воспроизводится из партии в партию. Мощность остается в пределах 2% изменения на протяжении более 5,000 часов работы, и устройство спроектировано с учетом интерфейса и габаритов основного оборудования для полупроводниковой промышленности.</p>