http://twintube-ir.com/ru/tags/%D0%B4%D0%B5%D0%B3%D0%B0%D0%B7%D0%B8%D1%80%D0%BE%D0%B2%D0%B0%D0%BD%D0%B8%D0%B5/ Recent content in Дегазирование on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo ru Sat, 20 Jun 2026 05:27:05 +0800 http://twintube-ir.com/ru/posts/wafer-degas-infrared-heater/ Sat, 20 Jun 2026 05:27:05 +0800 http://twintube-ir.com/ru/posts/wafer-degas-infrared-heater/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Инфракрасный нагреватель для дегазации пластинок"></p> <p>На этапе литографии возникновение точек с высокой температурой в 2°C на поверхности пластины во время процедуры мягкой обработки приводит к изменению критических размеров элементов пластины, а также к увеличению времени экспозиции. Невозможно постоянно корректировать параметры из-за тепловых факторов после каждой партии изделий. Инфракрасный нагреватель для дегазации пластины поддерживает стабильную температуру — она остается на нужном уровне, не завися от изменений в процессе производства.</p> <p><strong>Что действительно важно с технической точки зрения</strong><br> Мы используем инфракрасное излучение с высокой скоростью передачи тепла; это позволяет достичь стабильной температуры на всей поверхности пластины в пределах ±0,1°C в течение всего процесса производства. Также обеспечивается повторяемость температуры на всех этапах производства. Устройство работает в чистых помещениях класса 1–100, не создает частиц и имеет герметичную конструкцию с минимальными выбросами газов. Это обеспечивает стабильную работу устройства 24/7 без неожиданных перебоев, а также позволяет планировать время технического обслуживания.</p>