Как сохранить чистоту пластин MEMS во время процесса сушки
Если вы работаете в чистой комнате класса 100, вы уже знаете, какое бедствие может возникнуть из-за выделения газов или появления частиц там, где их быть не должно. Это обычно происходит на этапе сушки. Большинство стандартных нагревателей не подходят для этой цели – они способны выделять микроскопические частицы или летучие органические соединения как только начинают нагреваться.
Поэтому мы используем ИК-лампы из высокочистого синтетического кварца.
Почему именно кварц?
Все дело в самом материале. Мы используем кварц с практически полностью отсутствующими примесями, поэтому не нужно беспокоиться о металлическом загрязнении, которое может повредить датчики MEMS.
В отличие от нагревателей с металлической оболочкой, эти кварцевые трубки служат нереактивным барьером. ИК-излучение проходит прямо сквозь жидкость на поверхности пластины, обеспечивая быструю сушку без контакта с поверхностью. Отсутствие контакта значит отсутствие царапин и перекрестного загрязнения. Просто.
Как правильно регулировать температуру
Чтобы ускорить процесс сушки, мы используем ИК-излучение короткой длины волны. Цель состоит в том, чтобы направить энергию прямо на поверхность пластины, а не тратить ее на нагрев всего воздуха в камере.
Но есть один нюанс: необходимо быть осторожным с интенсивностью нагрева. Эти лампы мгновенно нагреваются, что хорошо, но такая интенсивность может вызвать тепловое напряжение, если пластина не находится в идеальном положении. Я всегда советую использовать точный контроллер PID. Он помогает поддерживать стабильные условия и предотвращает появление «горячих точек», которые могут повредить структуру MEMS.
Установка ламп в производственную линию
Мы разработали эти лампы так, чтобы они можно было легко заменить на существующие устройства. Мы устранили все лишние клеи и использовали керамику высокой температурной стойкости в качестве креплений. Таким образом, ничего не будет отваливаться и попадать в производственную линию.
Но есть один минус: высокочистый кварц химически инертен, но при этом крайне хрупок. Ваша команда должна обращаться с ним осторожно. Обязательно используйте перчатки без ворсинок – каждый раз. Даже один отпечаток пальца оставляет масляные следы, которые при нагреве проникают в кварц. В результате на поверхности появятся постоянные «темные пятна», а распределение температуры будет неравномерным.