http://twintube-ir.com/pl/tags/plasterek/ Recent content in Plasterek on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo pl Wed, 03 Jun 2026 12:10:15 +0800 http://twintube-ir.com/pl/posts/optical-wafer-processing-heater/ Wed, 03 Jun 2026 12:10:15 +0800 http://twintube-ir.com/pl/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Podgrzewacz do obróbki optycznych krążków"></p> <p>Na hali produkcyjnej obróbka fotorezystu nie toleruje dryfu termicznego. Rozrzut temperatury o 0,5°C na płytce podczas soft bake lub hard bake skutkuje zmianą szerokości linii, a jedno zdarzenie z cząstką może zniszczyć dużą partię. Potrzebny jest podgrzewacz do obróbki płytek, który działa jak stała procesu, a nie kolejna zmienna.</p> <p>Kluczowa jest powtarzalność dostarczanego ciepła, bez konfliktów z czystością pomieszczenia. Nasz optyczny podgrzewacz do obróbki płytek opiera się na krótkofalowym <a href="https://henruite.com">podczerwonym</a> promieniowaniu (SWIR) oraz kwarcowej konstrukcji termicznej, a potwierdziliśmy jednolitość temperatury na poziomie ±0,1°C dla płytek 300 mm. Urządzenie pracuje w cleanroomach klasy 1–100, z potwierdzonym zerowym generowaniem cząstek przy prógach poniżej 0,1 μm. Profile wypalania fotorezystu są powtarzalne, a w oknach produkcyjnych podgrzewacz wytrzymuje pracę 24/7 bez niespodziewanych przestojów.</p>