Lampu pemanas untuk pemprosesan wafer SiC
Di lini pengeluaran, wafer SiC itu hanya berada di situ, menunggu proses pembakaran fotoresist yang bertujuan untuk “mengunci” pola pada permukaan...
Pemanas pemprosesan wafer optik
On the fab floor, pemprosesan photoresist tidak memaafkan pergeseran terma. Sebaran suhu panas/sejuk 0.5°C pada wafer semasa soft bake atau hard bake...