Penyejuk infra merah pemaju pelapik

Fri, 05 Jun 2026 03:51:16 +0800

Di lantai litografi, pengeringan fotoresis bukanlah sesuatu yang boleh dipandang remeh—ia adalah garis pemisah antara menghasilkan hasil dan melihat sisa bertimbun. Drift 2°C semasa pengeringan lembut sudah cukup untuk menyebarkan variasi CD di seluruh wafer. Dan jika pengeringan keras tidak konsisten, anda sedang meminta untuk berlaku masalah, lekatan lemah, dan filem residu yang tidak menghiraukan penanggal. Pemanas IR untuk pelapik/pembangun perlu memberikan tingkah laku terma yang boleh diulang, kitar demi kitar, tanpa membuang zarah ke dalam aliran atau mengecilkan tingkap proses.

Apa yang sebenarnya penting di bawah permukaan
Kami membina pemanas IR untuk pelapik/pembangun berdasarkan pemancar inframerah gelombang pendek (NIR)—pemanasan yang disambungkan secara langsung dengan kawalan gelung tertutup. Keuntungannya adalah keseragaman pada tahap wafer dalam ±0.1°C di seluruh plat pengeringan, jadi fotoresis mendapat anggaran terma yang sama dari tepi ke tepi. Responsnya adalah kurang dari satu saat, yang membolehkan anda mengekalkan kadar pemanasan dan masa rendaman dengan ketat. Ia serasi dengan bilik bersih Kelas 1–100, terima kasih kepada pemasangan yang mengeluarkan gas rendah dan seni bina tanpa zarah yang menjaga bilangan zarah tetap stabil, walaupun semasa pengeluaran yang panjang. Pemanas ini sesuai untuk digunakan pada platform pelapik/pembangun standard dan direka untuk operasi 24/7, dengan output yang stabil merentasi ribuan kitaran pengeringan.

Pelapik on Twin Tube Infrared Heating Tech

Penyejuk infra merah pemaju pelapik