http://twintube-ir.com/ms/tags/optikal/ Recent content in Optikal on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo ms Wed, 03 Jun 2026 12:10:15 +0800 http://twintube-ir.com/ms/posts/optical-wafer-processing-heater/ Wed, 03 Jun 2026 12:10:15 +0800 http://twintube-ir.com/ms/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Pemanas pemprosesan wafer optik"></p> <p>On the fab floor, pemprosesan photoresist tidak memaafkan pergeseran terma. Sebaran suhu panas/sejuk 0.5°C pada wafer semasa soft bake atau hard bake akan menunjukkan variasi lebar garisan, dan satu kejadian zarah boleh merosakkan banyak. Anda memerlukan pemanas pemprosesan wafer yang berfungsi seperti pemalar proses tetap, bukan satu lagi pembolehubah.</p> <p>Apa yang benar-benar penting ialah penghantaran haba yang boleh diulang, tanpa melawan bilik bersih. Kami membina pemanas pemprosesan wafer optik kami berdasarkan inframerah gelombang <a href="https://henruite.com">pendek</a> (SWIR) dan seni bina <a href="https://goldisgood.com">termal</a> berkuarsa dipertingkat, dan kami telah mengesahkan keseragaman tahap wafer ±0.1°C pada wafer 300 mm. Ia beroperasi dalam bilik bersih Kelas 1–100, dengan penghasilan zarah sifar yang disahkan sehingga ambang sub-0.1 μm. Profil photoresist bake dari larian ke larian kekal konsisten, dan dalam tempoh pengeluaran ia menahan operasi 24/7 tanpa downtime tidak dirancang.</p>