http://twintube-ir.com/ms/tags/degas/ Recent content in Degas on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo ms Sat, 20 Jun 2026 05:27:05 +0800 http://twintube-ir.com/ms/posts/wafer-degas-infrared-heater/ Sat, 20 Jun 2026 05:27:05 +0800 http://twintube-ir.com/ms/posts/wafer-degas-infrared-heater/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Pemanas inframerah untuk proses degassing wafer"></p> <p>Pada proses litografi, adanya kawasan panas sebanyak 2°C pada permukaan wafer semasa proses pemanasan akan mengubah dimensi penting wafer tersebut, dan ini akan memanjangkan masa pendedahan yang diperlukan. Anda tidak boleh terus memantau perubahan suhu setiap kali proses berlangsung. Pemanas inframerah yang digunakan untuk proses degasasi wafer membantu mengekalkan suhu pada tahap yang sesuai – iaitu pada profil resisten, bukan pada variasi proses itu sendiri.</p> <p><strong>Apa yang penting dari segi teknikalnya</strong><br> Kita menggunakan sinar inframerah gelombang pendek yang memberikan haba secara cepat dan langsung, dengan penyesuaian yang tepat mengikut respons wafer itu sendiri. Ini memastikan keseragaman suhu pada tahap ±0.1°C sepanjang proses pengeluaran, serta ketepatan suhu yang konsisten dari satu kali proses ke kali yang lain. Alat ini beroperasi dalam bilik bersih kelas 1–100, tidak menghasilkan zarah-zarah berbahaya, dan menggunakan reka bentuk yang tertutup untuk mengurangkan pelepasan gas. Dengan cara ini, hasil pengeluaran akan menjadi stabil sepanjang masa – tiada masa henti yang tidak dijangka, dan jadual penyelenggaraan dapat dirancang dengan lebih baik.</p>