Menjaga kebersihan wafer MEMS semasa proses pengeringan
Jika anda beroperasi di bilik bersih kelas 100, anda pasti sudah tahu betapa menyakitkannya apabila berlaku pelepasan gas atau zarah-zarah yang tidak sepatutnya ada di situ. Ini biasanya berlaku semasa fasa pengeringan. Kebanyakan pemanas biasa tidak sesuai untuk tujuan ini – ia cenderung untuk mengeluarkan zarah-zarah mikroskopik atau melepaskan bahan organik volatil (VOC) sebaik sahaja ia dipanaskan.
Itulah sebabnya kami menggunakan lampu IR berasaskan kuarsa sintetik yang berkualiti tinggi.
Mengapa kuarsa?
Ia disebabkan oleh sifat bahan tersebut. Kami menggunakan silika yang hampir bebas daripada kekotoran, jadi anda tidak perlu risau tentang kontaminasi logam yang boleh merosakkan sensor MEMS anda. Berbeza dengan pemanas yang dilindungi oleh lapisan logam, tiub kuarsa ini berfungsi sebagai penghalang yang tidak reaktif. Sinaran IR dapat menembusi lapisan cecair pada permukaan wafer, sehingga wafer dapat dikeringkan dengan cepat tanpa perlu sentuhan langsung pada permukaannya. Tiada sentuhan bermakna tiada kesan calar atau pencemaran. Sangat mudah.
Mengawal suhu dengan tepat
Untuk mempercepatkan proses pengeringan, kami menggunakan sinaran IR berfrekuensi rendah. Tujuannya adalah untuk memindahkan tenaga secara langsung ke permukaan wafer, bukannya membuang tenaga tersebut dengan memanaskan udara di dalam bilik tersebut. Namun, perlu berhati-hati dengan kepadatan tenaga yang digunakan. Lampu ini dapat meningkatkan suhu dengan cepat, tetapi intensiti yang tinggi boleh menyebabkan tekanan haba jika wafer tidak diletakkan dengan tepat. Saya sentiasa menyarankan penggunaan pengawal PID yang tepat. Ini akan membantu menjaga kestabilan suhu dan mengelakkan kawasan panas yang boleh merosakkan struktur MEMS.
Pemasangan dalam sistem pengeluaran
Kami merancang lampu ini agar dapat digantikan secara mudah dalam sistem pengeluaran sedia ada. Kami telah menghilangkan semua bahan perekat yang tidak diperlukan, dan menggunakan bahan seramik yang tahan panas untuk sokongan lampu tersebut. Dengan cara ini, tiada bahan yang akan terkelupas ke dalam line pengeluaran.
Namun, ada satu masalah. Kuarsa berkualiti tinggi memang tidak berreaksi secara kimia, tetapi ia juga rapuh. Pasukan anda perlu berhati-hati semasa mengendalikannya. Pastikan mereka menggunakan sarung tangan yang bebas debu setiap kali. Sebarang cap jari akan meninggalkan residu minyak yang boleh merosakkan kuarsa apabila ia dipanaskan. Akibatnya, permukaan wafer akan mempunyai “titik gelap” yang kekal, dan pengagihan haba akan menjadi tidak sekata.