http://twintube-ir.com/ko/tags/mems/ Recent content in MEMS on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo ko Fri, 24 Jul 2026 11:17:01 +0800 http://twintube-ir.com/ko/posts/achieving-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-via-high-purity-quartz-ir-lamps/ Fri, 24 Jul 2026 11:17:01 +0800 http://twintube-ir.com/ko/posts/achieving-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-via-high-purity-quartz-ir-lamps/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터"></p> <p>건조 과정에서 MEMS 웨이퍼를 항상 깨끗하게 유지하는 방법<br> 만약 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 가스가 발생하거나 원치 않는 불순물들이 생기는 문제를 잘 알고 있을 것입니다. 이러한 문제는 보통 건조 단계에서 발생합니다. 일반적인 히터들은 이러한 상황에 적합하지 않습니다. 히터가 가열되면 미세한 이물질들이 나오거나 휘발성 유기 화합물(VOCs)이 유출됩니다.</p>