http://twintube-ir.com/ko/tags/%EC%99%80%EC%9D%B4%ED%8D%BC/ Recent content in 와이퍼 on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo ko Fri, 03 Jul 2026 08:12:42 +0800 http://twintube-ir.com/ko/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ Fri, 03 Jul 2026 08:12:42 +0800 http://twintube-ir.com/ko/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="SiC 웨이퍼 가공용 히터 램프"></p> <p>생산 라인에서는 그 SiC 웨이퍼가 그저 그 자리에 있으면서, 패턴을 고정시켜주는 포토레지스트 처리를 기다리고 있습니다. 온도가 아주 약간만 변해도, 정밀한 치수 제어가 어려워집니다. 에칭 공정이 시작되기 전부터 생산 효율이 저하됩니다.</p> http://twintube-ir.com/ko/posts/wafer-degas-infrared-heater/ Sat, 20 Jun 2026 05:27:05 +0800 http://twintube-ir.com/ko/posts/wafer-degas-infrared-heater/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="웨이퍼 탈가스용 적외선 히터"></p> <p>리소그래피 공정에서는, 소프트 베이크 과정 중 웨이퍼 전체에 걸쳐 2°C 정도의 온도 차이가 발생하면, 치명적인 문제가 생길 수 있습니다. 이로 인해 노출 시간도 줄어들게 됩니다. 매번 공정을 진행할 때마다 온도 변화를 확인하는 것은 불가능합니다. 웨이퍼 탈기용 적외선 히터는 온도를 적절한 수준으로 유지해 주며, 이를 통해 공정의 일관성을 보장할 수 있습니다.</p>